Peldanka qalîteya bilind a xwerû ya silicon carbide cantilever

Semicera xwerûya kalîteya bilind pêşkêşî dikepaddles cantilever carbide siliconji bo bilindkirina pêvajoyên hilberîna nîvconductor hatî çêkirin. The înnovasyonîPaddle SiCsêwirandin domdariya awarte û berxwedana germî ya bilind peyda dike, ku ew ji bo hilgirtina waferê di hawîrdorên dijwar ên germahiya bilind de pêkhateyek bingehîn dike.

EwPaddle carbide siliconhatiye çêkirin ku di heman demê de yekbûna avahî diparêze, di qonaxên krîtîk ên hilberîna nîvconductor de veguheztina waferê ya pêbawer peyda dike da ku li hember çerxên germî yên tund bisekinin. Bi hêza mekanîkî ya bilind, evqeyikê wafermetirsiya zirara waferan kêm dike, dibe sedema berberiya bilind û kalîteya hilberînê ya domdar.

Yek ji nûvekirinên sereke yên di pêla SiC ya Semicera de di vebijarkên sêwirana wê ya xwerû de ye. Ji bo peydakirina hewcedariyên hilberînê yên taybetî hatî çêkirin, paddle di entegrasyonê de bi sazûmanên cihêreng ên alavan re nermbûnê pêşkêşî dike, ku ew ji bo pêvajoyên çêkirina nûjen çareseriyek îdeal dike. Avakirina sivik lê bi hêz rê li ber hilanîna hêsan digire û dema xebitandinê kêm dike, di hilberîna nîvconduktorê de karîgerî çêtir dike.

Ji bilî taybetmendiyên wê yên termal û mekanîkî, ewPaddle carbide siliconberxwedana kîmyewî ya hêja pêşkêşî dike, ku dihêle ku ew di hawîrdorên kîmyewî yên dijwar de jî pêbawer tevbigere. Vê yekê ew bi taybetî ji bo karanîna di pêvajoyên ku tê de bi etching, depokirin, û dermankirina germahiya bilind re têkildar e, ku li wir parastina yekrêziya keştiya waferê ji bo dabînkirina hilberên kalîteya bilind girîng e de maqûl e.