Tantalum Carbide Coating Pedestal Plate Support

Kurte Danasîn:

Tantalum Carbide Coated Susceptor Plate Piştgiriya Semicera ji bo karanîna di epîtaksiya karbîd a silicon û mezinbûna krîstal de hatî çêkirin. Ew di hawîrdorên germahiya bilind, koroz, an tansiyona bilind de, ku ji bo van pêvajoyên pêşkeftî hewce ne, piştgirîya domdar peyda dike. Bi gelemperî di reaktorên tansiyona bilind, strukturên firnê, û alavên kîmyewî de têne bikar anîn, ew performansa pergalê û aramiyê misoger dike. Teknolojiya pêlavê ya nûjen a Semicera ji bo serîlêdanên endezyariyê yên daxwazkar qalîteya bilind û pêbawer garantî dike.

E-nameyê ji me re bişînin

Detail Product

Tags Product

Tantalum carbide til plakaya piştgiriya susceptorsusceptor an strûktûra piştevaniyê ye ku bi qatek zirav tê pêçandinkarbîd tantal. Ev paldank dikare li ser rûyê susceptorê bi teknîkên wekî hilweşandina vaporê ya laşî (PVD) an hilweşandina buhara kîmyewî (CVD) were çêkirin, û taybetmendiyên bilindtir dide susceptor.karbîd tantal.

Semicera ji bo pêkhateyên cihêreng û hilgirên karbidên tantalum (TaC) yên pispor peyda dike.Pêvajoya pêvekirina pêşeng a Semicera dihêle ku pêlên karbîd tantalum (TaC) bigihîjin paqijiya bilind, aramiya germahiya bilind û tolerasyona kîmyewî ya bilind, kalîteya hilberê ya krîstalên SIC / GAN û qatên EPI çêtir dike (Sûseptorê TaC bi grafîtê pêçandî), û dirêjkirina jiyana pêkhateyên sereke yên reaktorê. Bikaranîna pêlava karbîd a tantalum TaC ji bo çareserkirina pirsgirêkê û baştirkirina kalîteya mezinbûna krîstal e, û Semicera pêşkeftina teknolojiya pêlava karbîd a tantalum (CVD) çareser kiriye, ku gihîştiye asta pêşkeftî ya navneteweyî.

Piştî çend salan pêşkeftinê, Semicera teknolojiyê bi dest xistCVD TaCbi hewldanên hevpar ên beşa R&D. Di pêvajoya mezinbûna wafersên SiC de kêmasî hêsan e, lê piştî karanînaTaC, cudahî girîng e. Li jêr berhevokek waferên bi û bê TaC, û her weha beşên Simicera' ji bo mezinbûna yek krîstal e.

Taybetmendiyên sereke yên lewheyên piştevaniya bingehîn ên bi karbîdên tantalum hene:

1. Îstîqrara germahiya bilind: Karbîdê Tantalum xwedan îstîqrara germahiya bilind a hêja ye, ku plakaya piştevaniya bingehîn a pêçandî ji bo hewcedariyên piştgiriyê di hawîrdorên xebatê yên germahiya bilind de maqûl dike.

2. Berxwedana korozyonê: Pîvana karbîdê Tantalum xwedan berxwedana korozyonê baş e, dikare li dijî korozyon û oksîdasyona kîmyewî li ber xwe bide, û jiyana karûbarê bingehîn dirêj bike.

3. Zehmetî û berxwedana cilê ya bilind: Zehmetiya bilind a pêlava karbîd a tantalum berxwedana cilê ya baş dide plakaya piştevaniya bingehîn, ku ji bo rewşên ku hewceyê berxwedana cilê ya bilind hewce dike.

4. Îstîqrara kîmyewî: Karbîdê Tantalum ji cûrbecûr maddeyên kîmyewî re xwedan îstîqrara bilind e, ku plakaya piştevaniya bingehîn a pêçandî di hin hawîrdorên korozîf de baş dike.

Berbiçavkirina karbidê tantalumê ya bilind_ karbidestiya hilberîna pîşesaziyê çêtir dike û lêçûnên lênêrînê kêm dike Wêneyê Taybet

Beşa Tac ji bo mezinbûna yek krîstal

Li dijî cil û bergên karbîd tantalum_ Amûran ji xitimandin û korozyonê diparêze Wêneyê Taybetmendî

Grafît bi zengila pêçandî ya TaC

bi û bê TaC

Piştî bikaranîna TaC (rast)

Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene: