Tantalum carbide til plakaya piştgiriya susceptorsusceptor an strûktûra piştevaniyê ye ku bi qatek zirav tê pêçandinkarbîd tantal. Ev paldank dikare li ser rûyê susceptorê bi teknîkên wekî hilweşandina vaporê ya laşî (PVD) an hilweşandina buhara kîmyewî (CVD) were çêkirin, û taybetmendiyên bilindtir dide susceptor.karbîd tantal.
Semicera ji bo pêkhateyên cihêreng û hilgirên karbidên tantalum (TaC) yên pispor peyda dike.Pêvajoya pêvekirina pêşeng a Semicera dihêle ku pêlên karbîd tantalum (TaC) bigihîjin paqijiya bilind, aramiya germahiya bilind û tolerasyona kîmyewî ya bilind, kalîteya hilberê ya krîstalên SIC / GAN û qatên EPI çêtir dike (Sûseptorê TaC bi grafîtê pêçandî), û dirêjkirina jiyana pêkhateyên sereke yên reaktorê. Bikaranîna pêlava karbîd a tantalum TaC ji bo çareserkirina pirsgirêkê û baştirkirina kalîteya mezinbûna krîstal e, û Semicera pêşkeftina teknolojiya pêlava karbîd a tantalum (CVD) çareser kiriye, ku gihîştiye asta pêşkeftî ya navneteweyî.
Taybetmendiyên sereke yên lewheyên piştgirî yên bingehîn ên bi karbîdên tantalumê ev in:
1. Îstîqrara germahiya bilind: Karbîdê Tantalum xwedan îstîqrara germahiya bilind a hêja ye, ku plakaya piştevaniya bingehîn a pêçandî ji bo hewcedariyên piştgiriyê di hawîrdorên xebatê yên germahiya bilind de maqûl dike.
2. Berxwedana korozyonê: Pîvana karbîdê Tantalum xwedan berxwedana korozyonê baş e, dikare li dijî korozyon û oksîdasyona kîmyewî li ber xwe bide, û jiyana karûbarê bingehîn dirêj bike.
3. Zehmetî û berxwedana cilê ya bilind: Zehmetiya bilind a pêlava karbîd a tantalum berxwedana cilê ya baş dide plakaya piştevaniya bingehîn, ku ji bo rewşên ku hewceyê berxwedana cilê ya bilind hewce dike.
4. Îstîqrara kîmyewî: Karbîd Tantalum ji cûrbecûr maddeyên kîmyewî re xwedan îstîqrara bilind e, ku plakaya piştgiriya bingehîn a pêçandî di hin hawîrdorên korozîf de baş dike.
bi û bê TaC
Piştî bikaranîna TaC (rast)
Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene: