Semicera ji bo pêkhateyên cihêreng û hilgirên karbidên tantalum (TaC) yên pispor peyda dike.Pêvajoya pêvekirina pêşeng a Semicera dihêle ku pêlên karbîd tantalum (TaC) bigihîjin paqijiya bilind, aramiya germahiya bilind û tolerasyona kîmyewî ya bilind, kalîteya hilberê ya krîstalên SIC / GAN û qatên EPI çêtir dike (Sûseptorê TaC bi grafîtê pêçandî), û dirêjkirina jiyana pêkhateyên sereke yên reaktorê. Bikaranîna pêlava karbîd a tantalum TaC ji bo çareserkirina pirsgirêkê û baştirkirina kalîteya mezinbûna krîstal e, û Semicera pêşkeftina teknolojiya pêlava karbîd a tantalum (CVD) çareser kiriye, ku gihîştiye asta pêşkeftî ya navneteweyî.
Karbidên tantalumê yên pêçandî yên waferê bi berfirehî di pêvajoyên hilberandina wafer û hilgirtinê de di pêvajoyên çêkirina nîvconductor de têne bikar anîn. Ew piştgirî û parastinek domdar peyda dikin da ku di pêvajoya çêkirinê de ewlehî, rastbûn û domdariya waferan peyda bikin. Kincên karbîdên Tantalum dikarin jiyana karûbarê hilgir dirêj bikin, lêçûn kêm bikin, û kalîte û pêbaweriya hilberên nîvconductor baştir bikin.
Danasîna hilgirê waferê bi karbîd tantalum bi vî rengî ye:
1. Hilbijartina materyalê: Carbide Tantalum materyalek bi performansa hêja, serhişkiya bilind, xala helandinê ya bilind, berxwedana korozyonê û taybetmendiyên mekanîkî yên hêja ye, ji ber vê yekê ew bi berfirehî di pêvajoya çêkirina semiconductor de tê bikar anîn.
2. Kêmkirina rûkê: Kişandina karbîd a tantalûmê bi pêvajoyek pêvedana taybetî ve li ser rûyê hilgirê waferê tê sepandin da ku pêvekek karbîd a tantalumê ya yekreng û zirav ava bike. Ev pêlav dikare parastinek zêde û berxwedana cilê peyda bike, di heman demê de ku xwedan guheztina germî ya baş e.
3. Zehfbûn û durustî: Karbideya tantalumê ya pêçandî ya waferê xwedan astek bilind û rastbûnek e, ku di pêvajoya çêkirinê de aramî û rastbûna waferan misoger dike. Zelalbûn û qedandina rûbera hilgir ji bo misogerkirina kalîte û performansa waferê krîtîk e.
4. Îstîqrara germahiyê: Karbidên tantalûmê yên pêçandî yên wafer dikarin îstîqrarê li hawîrdorên germahiya bilind bêyî deformasyon an şilbûn bidomînin, di pêvajoyên germahiya bilind de aramî û domdariya waferan misoger bikin.
5. Berxwedana korozyonê: Kevirên karbîdên Tantalum xwedan berxwedana korozyonê ya hêja ne, dikarin li hember erozyona kîmyewî û solvanan li ber xwe bidin, û hilgirê ji korozyona şil û gazê biparêzin.
bi û bê TaC
Piştî bikaranîna TaC (rast)
Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene:
