TaC Coated Plate dîskek pispor e ku ji bo karanîna di pêvajoyên epîtaksial ên SiC de hatî çêkirin, ku bi hûrgulî ji materyalê grafît-kalîteya bilind hatî çêkirin. Rûyê wê bi baldarî bi karbîdê tantalum (TaC) ve hatî pêçandî, pêkhateyek ku bi paqijî û hêza xwe ya awarte tê zanîn. Kişandina TaC domdarî û berxwedana plakê li germahiyên bilind zêde dike, ku ew ji bo şert û mercên daxwazî yên pêvajoyên epitaxial SiC îdeal dike.
Ev Tac Coated Plate nûjen dîskêşek pispor e ku ji bo karanîna di pêvajoyên epîtaksial ên SiC de hatî çêkirin, ku bi rastbûna ji materyalê grafît-kalîteya bilind hatî çêkirin. Rûyê Tac Coated Plate bi baldarî bi karbîda tantalum (TaC) ve hatî pêçandî, pêkhateyek ku bi paqijî û hêza xwe ya awarte tê zanîn. Di qonaxên cihêreng ên mezinbûna epîtaksial a SiC de wekî platformek pêbawer ji bo hilgirtina waferan kar dike. Bingeha wê ya grafîtê ya paqij-paqij rûyek aram û bêserûber peyda dike, di heman demê de pêlava TaC li dijî reaksiyonên kîmyewî û cilê parastinek zêde zêde dike.
SemiceraTaC Coated Plate li gorî hewcedariyên taybetî yên xerîdar têne xweş kirin, ku performansa çêtirîn û lihevhatina bi pergalên wan ên epîtaksial ên SiC re peyda dike. Ka ew mezinahî, şekil, an taybetmendiyên din be, ev lewhe ji bo bicîhanîna hewcedariyên bêhempa yên her serîlêdanê têne çêkirin.
bi û bê TaC
Piştî bikaranîna TaC (rast)
Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene:
