Tac coatingpêvekek materyalek girîng e, ku bi gelemperî li ser bingehek grafît bi teknolojiya hilweşandina vaporê ya organîk a metal (MOCVD) ve tê amadekirin. Ev pêlav xwedan taybetmendiyên hêja ye, wekî serhişkiya bilind, berxwedana cilê ya hêja, berxwedana germahiya bilind û aramiya kîmyewî, û ji bo cûrbecûr serîlêdanên endezyariyê yên daxwaziya bilind maqûl e.
Teknolojiya MOCVD teknolojiyek mezinbûna fîlima zirav a ku bi gelemperî tê bikar anîn e ku fîlima tevlihev a xwestî li ser rûyê substratê datîne bi berteka pêşgirên organîk ên metal bi gazên reaktîf re di germahiyên bilind de. Dema ku amadekirinTac coating, Hilbijartina pêşgirên organîk ên metal û çavkaniyên karbonê yên guncan, kontrolkirina şert û mercên reaksiyonê û pîvanên depokirinê, fîlimek TaC ya yekreng û zirav dikare li ser bingehek grafît were danîn.
Semicera ji bo pêkhateyên cihêreng û hilgirên karbidên tantalum (TaC) yên pispor peyda dike.Pêvajoya pêvekirina pêşeng a Semicera dihêle ku pêlên karbîd tantalum (TaC) bigihîjin paqijiya bilind, aramiya germahiya bilind û tolerasyona kîmyewî ya bilind, kalîteya hilberê ya krîstalên SIC / GAN û qatên EPI çêtir dike (Sûseptorê TaC bi grafîtê pêçandî), û dirêjkirina jiyana pêkhateyên sereke yên reaktorê. Bikaranîna pêlava karbîd a tantalum TaC ji bo çareserkirina pirsgirêkê û baştirkirina kalîteya mezinbûna krîstal e, û Semicera pêşkeftina teknolojiya pêlava karbîd a tantalum (CVD) çareser kiriye, ku gihîştiye asta pêşkeftî ya navneteweyî.
bi û bê TaC
Piştî bikaranîna TaC (rast)
Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene:
