Zengên rêberê grafît bi TaC ve girêdayî yebehsa danana qatek tenik jikarbîd tantalli ser rûyê zengilek rêberê grafîtê da ku berxwedana wê, berxwedana germahiya bilind û aramiya kîmyewî baştir bike. Ev pêlav bi gelemperî li ser rûyê zengilek rêberê grafîtê bi teknîkên wekî veguheztina vaporê ya laşî (PVD) an depokirina buhara kîmyewî (CVD) pêk tê.
Semicera ji bo pêkhateyên cihêreng û hilgirên karbidên tantalum (TaC) yên pispor peyda dike.Pêvajoya pêvekirina pêşeng a Semicera dihêle ku pêlên karbîd tantalum (TaC) bigihîjin paqijiya bilind, aramiya germahiya bilind û tolerasyona kîmyewî ya bilind, kalîteya hilberê ya krîstalên SIC / GAN û qatên EPI çêtir dike (Sûseptorê TaC bi grafîtê pêçandî), û dirêjkirina jiyana pêkhateyên sereke yên reaktorê. Bikaranîna pêlava karbîd a tantalum TaC ji bo çareserkirina pirsgirêkê û baştirkirina kalîteya mezinbûna krîstal e, û Semicera pêşkeftina teknolojiya pêlava karbîd a tantalum (CVD) çareser kiriye, ku gihîştiye asta pêşkeftî ya navneteweyî.
Taybetmendiyên sereke yên zengilên rêberiya grafît ên pêçandî yên TaC ev in:
1. Berxwedana germahiya bilind: Pûçek TaC xwedan aramiya germahiya bilind e û dikare di hawîrdorên germahiya bilind de aramiyê biparêze.
2. Berxwedana lixwekirinê: Serhişkiya bilind a qata tenik a karbîd a tantalûmê zengila rêberiyê berxwedana kincê baş dide û jiyana karûbarê wê dirêj dike.
3. Îstîqrara kîmyewî: Çêkirina TaC xwedan îstîqrara bilind li dijî korozyona kîmyewî ye, ku ew ji bo serîlêdanên di hin medyayên korozîf de maqûl dike.
4. Pevçûn kêm bikin: Pûçek TaC dikare bi bandor di navbera zengila rêberê grafît û pêkhateyên din de bi bandor kêm bike û karbidestiya morên mekanîkî baştir bike.
bi û bê TaC
Piştî bikaranîna TaC (rast)
Wekî din, SemiceraBerhemên bi TaC-pêçandîJiyanek karûbarê dirêjtir û berxwedana germahiya bilind li gorî wan nîşan dideKincên SiC.Pîvandinên laboratîfan destnîşan kirin ku mepêlên TaCdikare bi domdarî di germahiyên heya 2300 derece Celsius de ji bo demên dirêj ve bixebite. Li jêr çend nimûneyên nimûneyên me hene:
