Karbîd silicon (SiC) madeya yek krîstal xwedan firehiya valahiya bandê ya mezin (~ Si 3 carî), guheztina germî ya bilind (~ Si 3,3 car an GaAs 10 carî), rêjeya koçberiya têrbûna elektronê ya bilind (~ Si 2,5 carî), elektrîkê hilweşîna bilind zeviyê (~ Si 10 car an GaAs 5 carî) û taybetmendiyên din ên berbiçav.
Amûrên SiC di warê germahiya bilind, tansiyona bilind, frekansa bilind, cîhazên elektronîkî yên hêza bilind û serîlêdanên hawîrdorê yên giran ên wekî hewa feza, leşkerî, enerjiya nukleer, hwd. de xwedan avantajên bêserûber in, di pratîkê de kêmasiyên amûrên materyalê yên nîvconductor yên kevneşopî çêdikin. sepanan, û hêdî hêdî dibin serweriya nîvconduktorên hêzê.
4H-SiC Taybetmendiyên substratê karbîd silicon
| Item项目 | Specifications参数 | |
| Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
| Çap | 2 inç | 3 inç | 4 inç | 6 inch | 2 inç | 3 inç | 4 inç | 6 inch |
| Qewîtî | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
| Conductivity | N – cure / Semi-insulating | N – cure / Semi-insulating |
| Dopant | N2 (Nîtrojen) V (Vanadyûm) | N2 (Azot) V (Vanadyûm) |
| Orientation | Li ser eksê <0001> | Li ser eksê <0001> |
| Berxwedan | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
| Density Micropipe (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
| TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
| Bow / Warp | ≤25 μm | ≤25 μm |
| Rû | DSP / SSP | DSP / SSP |
| Sinif | Hilberîn / Pola lêkolînê | Hilberîn / Pola lêkolînê |
| Crystal Stacking Sequence | ABCB | ABCABC |
| Parametreya latê | a=3.076A, c=10.053A | a=3.073A, c=15.117A |
| Mînak/eV (Band-gap) | 3,27 eV | 3,02 eV |
| ε (Dîelektrîk Constant) | 9.6 | 9.66 |
| Indeksa Refraction | n0 =2.719 ne =2.777 | n0 =2.707, ne =2.755 |
Taybetmendiyên substratê Silicon Carbide 6H-SiC
| Item项目 | Specifications参数 |
| Polytype | 6H-SiC |
| Çap | 4 inç | 6 inch |
| Qewîtî | 350μm ~ 450μm |
| Conductivity | N – cure / Semi-insulating |
| Dopant | N2 (Azot) |
| Orientation | <0001> daket 4°± 0,5° |
| Berxwedan | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
| Density Micropipe (MPD) | ≤ 10/cm2 |
| TTV | ≤ 15 μm |
| Bow / Warp | ≤25 μm |
| Rû | Rûyê Si: CMP, Epi-Amade ye |
| Sinif | Dereceya lêkolînê |










