Semicera destnîşan dikeWafer Cassette Carrier, çareseriyek krîtîk ji bo birêvebirina ewledar û bikêrhatî ya waferên nîvconductor. Ev hilgir ji bo bicîhanîna hewcedariyên hişk ên pîşesaziya nîvconductor hatî çêkirin, parastin û yekbûna waferên we li seranserê pêvajoya çêkirinê misoger dike.
Taybetmendiyên sereke:
•Avakirina Zehmet:EwWafer Cassette Carrierji materyalên bi kalîte, domdar ên ku li hember tundiyên hawîrdorên nîvconductor radiwestin, hatî çêkirin, parastina pêbawer li dijî gemarî û zirara laşî peyda dike.
•Lihevhatina rast:Ji bo lihevkirina waferê ya rast hatî sêwirandin, ev hilgir piştrast dike ku wafer bi ewlehî li cîhê xwe têne girtin, xetera nelihevkirin an zirarê di dema veguhastinê de kêm dike.
•Desthilatdariya hêsan:Ji hêla ergonomîkî ve ji bo karanîna hêsan hatî sêwirandin, hilgir pêvajoya barkirin û barkirinê hêsan dike, di hawîrdorên paqijî de karîgeriya xebatê baştir dike.
•Lihevhatî:Bi cûrbecûr mezinahî û celebên wafer re hevaheng e, ku wê ji bo hewcedariyên cûda yên hilberîna nîvconduktorê piralî dike.
Bi Semicera re parastin û rehetiya bêhempa biceribîninWafer Cassette Carrier. Hilgira me hatiye dîzaynkirin ku standardên herî bilind ên hilberîna nîvconductor bicîh bîne, dabîn dike ku waferên we ji destpêkê heya dawiyê di rewşek bêkêmasî de bimînin. Ji Semicera bawer bikin ku kalîte û pêbaweriya ku hûn ji bo pêvajoyên weya herî krîtîk hewce dikin radest bikin.
| Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
| Parametreyên Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametreyên Elektrîkê | |||
| Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
| Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametreyên Mekanîk | |||
| Çap | 150,0±0,2mm | ||
| Qewîtî | 350±25 μm | ||
| Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
| Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
| Daîreya duyemîn | Netû | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Awayî | |||
| Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qalîteya pêşîn | |||
| Pêşde | Si | ||
| Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
| Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
| Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
| Çîpên qiraxa / hêlîn / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
| Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
| Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
| Back Quality | |||
| Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
| Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
| Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
| Qerax | |||
| Qerax | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
| *Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. | |||
