Destpêka CVD TaC Coating:
CVD TaC Coating teknolojiyek e ku ji bo rûxandina tantalum carbide (TaC) li ser rûyê substratê depokirina buhara kîmyewî bikar tîne. Tantalum carbide materyalek seramîk a bi performansa bilind e ku xwedan taybetmendiyên mekanîkî û kîmyewî yên hêja ye. Pêvajoya CVD bi reaksiyona gazê fîlimek TaC ya yekgirtî li ser rûyê substratê çêdike.
Taybetmendiyên sereke:
Zehmetî û berxwedana cilê ya hêja: Karbîd Tantalum xwedan hişkiya zehf zêde ye, û CVD TaC Coating dikare bi girîngî berxwedana cilê ya substratê baştir bike. Ev pêlavê ji bo serîlêdanên li hawîrdorên cil û berz, wek amûr û qalibên birrîn, îdeal dike.
Stability Germiya Bilind: Kincên TaC hêmanên firna krîtîk û reaktorê di germahiyên heya 2200°C de diparêzin, îstîqrara baş nîşan didin. Ew di bin şert û mercên germahiya giran de aramiya kîmyewî û mekanîkî diparêze, ku ew ji bo pêvajoyek germahiya bilind û serîlêdanên di hawîrdorên germahiya bilind de maqûl dike.
îstîqrara kîmyewî ya hêja: Karbîd tantal li hember pir asîd û alkalan xwedan berxwedana korozyonê ya bihêz e, û CVD TaC Coating dikare bi bandor pêşî li zirara li jêrzemînê di hawîrdorên korozyonî de bigire.
Xala helandinê ya bilind: Karbîd Tantalum xwedan nuqteyek helînê ya bilind e (nêzîkî 3880°C), dihêle ku CVD TaC Coating di şert û mercên germahiya giran de bêyî helandin an hilweşandin were bikar anîn.
Germahiya germî ya hêja: Pêlava TaC xwedan guheztina germî ya bilind e, ku dibe alîkar ku di pêvajoyên germahiya bilind de germê bi bandor belav bike û pêşî li germbûna herêmî bigire.
Serîlêdanên potansiyel:
• Nîtrîda Galium (GaN) û Silicon Carbide epitaxial reaktora CVD di nav wan de hilgirên wafer, sêlên satelîtê, serşokê, tavan, û susceptors.
• Karbîd silicon, galium nitride û aluminium nitride (AlN) hêmanên mezinbûna krîstal di nav wan de kulîlk, xwedan tov, zengilên rêber û parzûn.
• Pêkhateyên pîşesazî di nav de hêmanên germkirinê yên berxwedêr, çîpên derzîlêdanê, zengilên maskekirinê û çîpên zirav
Taybetmendiyên serîlêdanê:
• Germahiya li ser 2000°C stabîl e, ku destûrê dide xebatê di germahiyên giran de
•Li hember hîdrojen (Hz), ammonia (NH3), monosilane (SiH4) û silicon (Si) berxwedêr e, di hawîrdorên kîmyewî yên dijwar de parastinê peyda dike.
• Berxwedana wê ya şoka termal çerxên xebitandinê yên bileztir dike
• Grafît xwedan adhezyonek xurt e, ku jiyanek karûbarê dirêj peyda dike û bê xêzkirina pêvekirinê.
• Paqijiya Ultra-bilind ji bo rakirina nepaqijiyên nehewce an gemarî
• Ji ber toleransên dimensî yên teng de vegirtina pêlavê ya lihevhatî
Taybetmendiyên teknîkî:
Amadekirina pêlavên karbîdên tantalumê yên dagirtî ji hêla CVD ve：
Pûçek TAC bi krîstalbûnek bilind û yekrengiya hêja:
CVD TAC COATING Parametreyên Teknîkî_Semicera:
Li jor nirxên tîpîk in.
