Qada serîlêdanê
1. Leza bilind a entegre
2. Amûrên mîkro
3. Germahiya bilind a entegre
4. Amûrên hêzê
5. Hêza kêm a entegre
6. MEMS
7. Kêm voltaja entegre
Şanî | Bersivk | |
Bi tevayî | Diameter Wafer | 50/75/100/125/150/200mm±25um |
Bow/Warp | <10um | |
Parçeyên | 0.3um<30ea | |
Daîre / Notch | Flat an Notch | |
Edge Exclusion | / | |
Device Layer | Device-layer Type / Dopant | Tîpa N/Tîpa P |
Device-layer Orientation | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Device-layer Thickness | 0.1 ~ 300 m | |
Device-layer Resistivity | 0,001 ~ 100,000 ohm-cm | |
Parçeyên Device-layer | <30ea@0.3 | |
Device Layer TTV | <10um | |
Device Layer Finish | Polished | |
QÛTÎK | Qûrahiya Oksîdê Termal a Binpêkirî | 50nm (500Å) ~ 15um |
Handle Layer | Handle Type Wafer / Dopant | Tîpa N/Tîpa P |
Orientation Wafer Handle | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Berxwedana Waferê bi dest bixe | 0,001 ~ 100,000 ohm-cm | |
Handle Wafer Thickness | > 100 m | |
Handle Wafer Finish | Polished | |
Waferên SOI yên taybetmendiyên armanc dikarin li gorî daxwazên xerîdar bêne xweş kirin. |