Terîf
Pargîdaniya me pêşkêşî dikeÇêkirina SiCKarûbarên bi rêbaza CVD li ser rûyê grafît, seramîk û materyalên din pêvajoyê bikin, da ku gazên taybetî yên ku karbon û silicon dihewîne di germahiya bilind de bertek nîşan bidin ku molekulên SiC yên paqijiya bilind bistînin, molekulên ku li ser rûyê erdê têne razandin.pêçandîmalzemeyên, ku tebeqeya parastinê ya SIC ava dikin.
Taybetmendiyên serê serşokê SiC wiha ne:
1. Berxwedana korozyonê: Materyalê SiC xwedan berxwedana korozyonê ya hêja ye û dikare li hember erozyona cûrbecûr şilav û çareseriyên kîmyewî bisekinin, û ji bo cûrbecûr pêvajoyên pêvajoyên kîmyewî û dermankirina rûkê maqûl e.
2. îstîqrara germahiya bilind:nozzles SiCdikare di hawîrdorên germahiya bilind de aramiya strukturel bidomîne û ji bo serîlêdanên ku hewceyê dermankirina germahiya bilind in maqûl in.
3. Spraykirina yekgirtî:Nozzle SiCsêwiran xwedan performansa kontrolê ya sprekirinê ya baş e, ku dikare belavkirina şilavê ya yekbûyî bi dest bixe û pê ewle bike ku şilava dermankirinê bi rengek wekhev li ser rûyê armancê tê nixumandin.
4. Berxwedana cilê ya bilind: Materyalên SiC xwedan serhişkî û berxwedana liberxwedanê ya bilind e û dikare li ber karanîna dirêj û kêşanê bisekinin.
Serikên serşokê yên SiC bi berfirehî di pêvajoyên dermankirina şilavê de di hilberîna nîvconductor, pêvajoyek kîmyewî, rûxandina rûkê, elektroplating û warên din ên pîşesaziyê de têne bikar anîn. Ew dikare bandorên sprakirinê yên domdar, yekgirtî û pêbawer peyda bike da ku kalîte û domdariya pêvajo û dermankirinê peyda bike.
Taybetmendiyên sereke
1. Berxwedana oksîdasyona germahiya bilind:
Dema ku germahî bi qasî 1600 C be, berxwedana oksîdasyonê hîn jî pir baş e.
2. Paqijiya bilind: ji hêla hilweşandina vaporê kîmyewî ve di bin şerta klorîna germahiya bilind de hatî çêkirin.
3. Berxwedana erozyonê: serhişkiya bilind, rûbera tevlihev, perçeyên hûr.
4. Berxwedana korozyonê: asîd, alkali, xwê û reagentên organîk.
Taybetmendiyên sereke yên CVD-SIC Coating
| Taybetmendiyên SiC-CVD | ||
| Structure Crystal | Qonaxa β FCC | |
| Density | g/cm ³ | 3.21 |
| Hardness | Serhişkiya Vickers | 2500 |
| Mezinahiya Genim | μm | 2~10 |
| Paqijiya Kîmyewî | % | 99.99995 |
| Heat Capacity | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Germahiya Sublimation | ℃ | 2700 |
| Hêza Felexural | MPa (RT 4-xala) | 415 |
| Modula Ciwan | Gpa (4pt bend, 1300℃) | 430 |
| Berfirehkirina Termal (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Germiya germî | (W/mK) | 300 |
