Silicon Carbide Epitaxy

Kurte Danasîn:

Silicon Carbide Epitaxy- Tebeqeyên epîtaksial ên qalîteya bilind ên ku ji bo sepanên nîvconduktorê yên pêşkeftî hatine veqetandin, ji bo elektronîk û amûrên optoelektronîkî performansa bilind û pêbaweriyê pêşkêş dikin.


Detail Product

Tags Product

Semicera'sSilicon Carbide Epitaxyji bo pêkanîna daxwazên hişk ên sepanên nîvconductor yên nûjen hatî çêkirin. Bi karanîna teknolojiyên pêşkeftî yên mezinbûna epitaxial, em piştrast dikin ku her qatek karbîd a silicon qalîteya krîstal, yekreng, û kêmbûna kêmasiya hindiktirîn nîşan dide. Van taybetmendiyan ji bo pêşkeftina elektronîkî ya hêza performansa bilind girîng in, ku li wir kargêrî û rêveberiya germî serekî ye.

EwSilicon Carbide EpitaxyPêvajoya li Semicera xweşbîn e ku qatên epîtaksial bi stûrbûna rast û kontrolkirina dopîngê hilberîne, û performansa domdar li seranserê cûrbecûr amûran peyda dike. Ev asta rastdariyê ji bo serîlêdanên di wesayîtên elektrîkê, pergalên enerjiya nûjenkirî, û danûstendinên bi frekansa bilind de, ku pêbawerî û karîgerî krîtîk in, pêdivî ye.

Wekî din, SemiceraSilicon Carbide Epitaxyguheztina germî ya zêde û voltaja hilweşînê ya bilindtir pêşkêşî dike, ku ew ji bo cîhazên ku di bin şert û mercên giran de kar dikin bijareya bijarte dike. Van taybetmendiyan bi dirêjahiya jiyanên cîhazê re û baştirkirina karbidestiya pergalê ya giştî, nemaze di hawîrdorên hêzdar û germahiya bilind de beşdar dibin.

Semicera ji bo vebijarkên xwerûkirinê jî peyda dikeSilicon Carbide Epitaxy, rê dide çareseriyên birêkûpêk ên ku pêdiviyên cîhaza taybetî bicîh tînin. Çi ji bo lêkolînê, çi ji bo hilberîna mezin, qatên me yên epîtaksial têne sêwirandin ku piştgirî bidin nifşa paşîn a nûbûnên nîvconductor, ku rê dide pêşkeftina amûrên elektronîkî yên bi hêz, bikêr û pêbawer.

Bi yekkirina teknolojiya pêşkeftî û pêvajoyên kontrolkirina kalîteyê yên hişk, Semicera piştrast dike ku meSilicon Carbide Epitaxyhilber ne tenê standardên pîşesaziyê digirin, lê ji wan jî derbas dibin. Ev pabendbûna bi jêhatîbûnê qatên me yên epîtaksial dike bingehek îdeal ji bo sepanên nîvconductorê yên pêşkeftî, rê li ber pêşkeftinên di elektronîk û optoelektronîkê de vedike.

Items

Çêkerî

Lêkolîn

Dummy

Parametreyên Crystal

Polytype

4H

Çewtiya arastekirina rûvî

<11-20 >4±0,15°

Parametreyên Elektrîkê

Dopant

n-tîpa Nîtrojen

Berxwedan

0,015-0,025ohm·cm

Parametreyên Mekanîk

Çap

150,0±0,2mm

Qewîtî

350±25 μm

Arasteya daîre ya seretayî

[1-100]±5°

Dirêjahiya daîreya seretayî

47,5±1,5mm

Daîreya duyemîn

Netû

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Girêk

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Awayî

Density Micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Nepaqijiyên metal

≤5E10 atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Qalîteya pêşîn

Pêşde

Si

Dawiya rûyê

Si-rûyê CMP

Parçeyên

≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm)

NA

Scratches

≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter

Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî

NA

Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî

Netû

NA

Çîpên qiraxa / hêlîn / şikestin / lewheyên hex

Netû

Herêmên Polytype

Netû

Qada kombûyî≤20%

Qada kombûyî≤30%

Nîşana lazerê ya pêşîn

Netû

Back Quality

Paş qedandin

C-rûyê CMP

Scratches

≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter

NA

Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin)

Netû

Zehmetiya piştê

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Nîşana lazerê ya paşîn

1 mm (ji qiraxa jorîn)

Qerax

Qerax

Chamfer

Packaging

Packaging

Epi-amade bi pakkirina valahiya

Pakêkirina kasetên pir-wafer

*Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune.

tech_1_2_size
Waferên SiC

  • Pêşî:
  • Piştî: