Terîf
MOCVD Substrate Heater, Hêmanên Germkirinê Ji bo MOCVD
Germê grafît:
Parçeyên germkerê grafît di firna germahiya bilind de bi germahiya ku di hawîrdora valahiya 2200 derece û di hawîrdora gazê ya deoksîdankirî û têxe 3000 derece de tê bikar anîn.
Taybetmendiyên sereke yên germkirina grafît
1. yekrengiya avahiya germkirinê.
2. veguhestina elektrîkê ya baş û barkirina elektrîkê ya bilind.
3. berxwedana korozyonê.
4. inoxidizability.
5. paqijiya kîmyewî ya bilind.
6. hêza mekanîk bilind.
Avantaja enerjiyê, nirxa bilind û lênihêrîna kêm e.
Em dikarin antî-oksîdasyon û kelûmelê grafît, qalibê grafît û hemî beşên germkerê grafît hilberînin.
Grafît Kîmyayî
Avantaj: Berxwedana germahiya bilind
Serlêdan:MOCVD / Firna valahiya / Hot Zone
Dendika mezin: 1,68-1,91 g/cm3
Hêza Flexural: 30-46Mpa
Berxwedan: 7-12μΩm
Parametreyên sereke yên germkirina grafît
| Specification Teknîkî | VET-M3 |
| Kûrahiya gir (g/cm3) | ≥1.85 |
| Naveroka Ash (PPM) | ≤500 |
| Shore Hardness | ≥45 |
| Berxwedana Taybet (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Hêza Flexural (Mpa) | ≥40 |
| Hêza Pêkêşî (Mpa) | ≥70 |
| Max. Mezinahiya genim (μm) | ≤43 |
| Rêjeya Berfirehbûna Termal Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Germê grafîtê ji bo sobeya elektrîkê xwedan taybetmendiyên berxwedana germê, berxwedana oksîdasyonê, guheztina elektrîkê ya baş û xurtbûna mekanîkî ya çêtir e. Em dikarin li gorî sêwiranên xerîdar cûrbecûr germkerên grafît çêkin.
Profîla Pargîdaniyê
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. dabînkerek pêşeng a seramîkên nîvconduktorê pêşkeftî ye û yekane çêkerê li Chinaînê ye ku dikare di heman demê de seramîkên karbîd siliconê yên paqij-paqijtir (bi taybetî SiC-ya Recrystalized) û pêlava CVD SiC peyda bike. Wekî din, pargîdaniya me ji zeviyên seramîk ên wekî alumina, nitride aluminium, zirconia, û silicon nitride, û hwd jî pabend e.
Berhemên me yên sereke di nav wan de: dîska guheztina karbîd a silicon, kêşana keştiyê karbîd silicon, keştiya waferê karbîd silicon (Photovoltaic&Semiconductor), lûleya firna karbîdê silicon, çîpên karbîd silicon, çîpên karbîd silicon, tîrêjê karbîd silicon, û her weha tîrêjê CV û C jî rû. Berhemên ku bi giranî di pîşesaziyên nîvconductor û fotovoltaîk de têne bikar anîn, wekî amûrên ji bo mezinbûna krîstal, epitaxy, etching, pakkirin, pêlav û firaxên belavkirinê, hwd.
Pargîdaniya me xwedan alavên hilberînê yên bêkêmasî yên wekî şilkirin, sinterkirin, hilberandin, alavên xêzkirinê, hwd., ku dikare hemî girêdanên pêwîst ên hilberîna hilberê temam bike û xwedan kontrola kalîteya hilberê bilindtir e; Plana hilberîna çêtirîn dikare li gorî hewcedariyên hilberê were hilbijartin, di encamê de lêçûnek kêmtir dibe û ji xerîdaran re hilberên pêşbaztir peyda dike; Em dikarin bi nermî û bikêrhatî hilberînê li ser bingeha hewcedariyên radestkirina fermanê û digel pergalên rêveberiya fermana serhêl de plansaz bikin, ji xerîdaran re demek radestkirina zûtir û garantîkirî peyda bikin.
