Semiceradide naskirinSemiconductor Kaset, amûrek bingehîn a ji bo birêvebirina ewledar û bikêrhatî ya waferan li seranserê pêvajoya çêkirina nîvconductor. Ev kaset bi rastbûna bilind hatî çêkirin, piştrast dike ku waferên we bi ewlehî têne hilanîn û veguheztin, di her qonaxê de yekdestiya xwe diparêze.
Parastin û domdariya bilindEwSemiconductor Kasetji Semicera hatî çêkirin ku parastina herî zêde ji waferên we re pêşkêş dike. Ew ji materyalên zexm, berxwedêr ên gemarî hatî çêkirin, ew waferên we ji zirar û gemariya potansiyel diparêze, û ew ji bo jîngehên paqijî vebijarkek îdeal dike. Sêwirana kasetê hilberîna kerpîçan kêm dike û piştrast dike ku wafer di dema destwerdan û veguheztinê de bêbandor û ewle bimîne.
Sêwirana pêşkeftî ji bo Performansa OptimalSemicera'sSemiconductor Kasetxwedan sêwiranek bi hûrgulî ya endezyarkirî ye ku lihevhatina waferê ya rast peyda dike, xetera nelihevkirin û zirara mekanîkî kêm dike. Slotên kasêtê bi rengek bêkêmasî ji hev cihê ne ku her waferek bi ewlehî bigire, pêşî li her tevgerek ku dikare bibe sedema xişandin an kêmasiyên din digire.
Pirrjimarî û lihevhatîEwSemiconductor Kasetpirreng e û bi cûrbecûr mezinahiyên wafer re lihevhatî ye, ji bo qonaxên cûda yên çêkirina nîvconductor minasib dike. Ma hûn bi pîvanên waferê yên standard an xwerû dixebitin, ev kaset li gorî hewcedariyên we diguncîne, di pêvajoyên hilberîna we de nermbûnê peyda dike.
Desthilatdarbûn û Karbidestiya RêvebirBi bikarhêner di hişê xwe de hatî çêkirinKaseta Semicera Semiconductorsivik e û hêsan e ku meriv bi rê ve bibe, rê dide barkirin û dakêşana bilez û bikêrhatî. Ev sêwirana ergonomîk ne tenê wextê xilas dike, lê di heman demê de xetera xeletiya mirovî jî kêm dike, û karûbarên bêkêmasî di hundurê cîhê we de misoger dike.
Hevdîtina Standardên PîşesaziyêSemicera piştrast dike kuSemiconductor Kasetji bo kalîte û pêbaweriyê standardên pîşesaziyê yên herî bilind pêk tîne. Her kasetek ceribandinek hişk derbas dike da ku garantî bike ku ew di bin şert û mercên daxwazkirî yên hilberîna nîvconductor de bi domdarî tevdigere. Ev dilsoziya bi kalîteyê re piştrast dike ku waferên we her gav têne parastin, standardên bilind ên ku di pîşesaziyê de hewce ne diparêzin.
| Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
| Parametreyên Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametreyên Elektrîkê | |||
| Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
| Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametreyên Mekanîk | |||
| Çap | 150,0±0,2mm | ||
| Qewîtî | 350±25 μm | ||
| Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
| Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
| Daîreya duyemîn | Netû | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Awayî | |||
| Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qalîteya pêşîn | |||
| Pêşde | Si | ||
| Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
| Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
| Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
| Çîpên qiraxa / hêlîn / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
| Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
| Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
| Back Quality | |||
| Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
| Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
| Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
| Qerax | |||
| Qerax | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
| *Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. | |||
