Semicerakêfxweş e ku pêşkêşî dikeKaseta PFA, bijarteyek premium ji bo radestkirina waferê li hawîrdorên ku berxwedana kîmyewî û domdarî serekî ne. Ev kaset ji materyalê Perfluoroalkoxy (PFA) ya paqijiya bilind hatî çêkirin, ev kaset ji bo ku di çêkirina nîvconduktorê de li ber şert û mercên herî bikêrhatî radiweste, ewlehî û yekparebûna waferên we misoger dike.
Berxwedana Kîmyewî ya bêhempaEwKaseta PFAji bo ku li hember cûrbecûr cûrbecûr kîmyewî berxwedanek bilind peyda bike hatî çêkirin, ku ew ji bo pêvajoyên ku asîdên êrîşkar, çareserker, û kîmyewiyên din ên dijwar vedigirin bijareya bêkêmasî ye. Vê berxwedana kîmyewî ya bihêz piştrast dike ku kaset di hawîrdorên herî xirab de jî saxlem û fonksiyonel bimîne, bi vî rengî temenê wê dirêj dike û hewcedariya guheztina pir caran kêm dike.
Avakirina Paqijiya BilindSemicera'sKaseta PFAji materyalê PFA-ya ultra-paqij hatî çêkirin, ku ji bo pêşîlêgirtina gemarî di dema hilberandina wafer de krîtîk e. Ev avahîsaziya bilind-paqijî metirsiya hilberîna parçikan û şilbûna kîmyewî kêm dike, û piştrast dike ku waferên we ji nepakiyên ku dikarin kalîteya wan tawîz bidin têne parastin.
Durability û Performansa ZêdekirîJi bo domdariyê hatî çêkirin, yaKaseta PFAdi bin germahiyên giran û şert û mercên pêvajoyê yên hişk de yekbûna xweya strukturî diparêze. Ev kaset di bin germahiyên bilind de be, an jî di bin destwerdana dubare de be, ev kaset şekl û performansa xwe diparêze, di hawîrdorên hilberînê yên daxwazkirî de pêbaweriya demdirêj peyda dike.
Endezyariya Precision ji bo Handling EwleEwKaseta Semicera PFAxwedan endezyariya rastîn e ku hilgirtina waferê ewledar û aram peyda dike. Her slot bi baldarî hatî sêwirandin ku wafers bi ewlehî li cîhê xwe bigire, pêşî li her tevger an guheztina ku dibe sedema zirarê bigire. Ev endezyariya rastîn piştgirî dide cîhkirina waferê domdar û rast, ku beşdarî karbidestiya pêvajoyê ya giştî dibe.
Serlêdana Berbiçav Di Pêvajoyan deBi saya taybetmendiyên wê yên maddî yên bilind, ewKaseta PFAtêra xwe piralî ye ku di qonaxên cihêreng ên çêkirina nîvconductor de were bikar anîn. Ew bi taybetî ji bo kişandina şil, depokirina buhara kîmyewî (CVD), û pêvajoyên din ên ku hawîrdorên kîmyewî yên dijwar vedigirin, xweş e. Veguheztina wê di parastina yekparebûna pêvajoyê û kalîteya waferê de amûrek bingehîn dike.
Pabendbûna bi Kalîte û NûbûnêLi Semicera, em pêbawer in ku hilberên ku standardên pîşesaziyê yên herî bilind digirin peyda bikin. EwKaseta PFAvê pabendbûnê mînak dide, çareseriyek pêbawer pêşkêşî dike ku bêkêmasî di pêvajoyên hilberîna we de yek dibe. Her kaset di bin kontrola kalîteyê ya hişk de ye da ku pê ewle bibe ku ew pîvanên performansa meya hişk pêk tîne, û jêhatiya ku hûn ji Semicera hêvî dikin peyda dike.
Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
Parametreyên Crystal | |||
Polytype | 4H | ||
Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
Parametreyên Elektrîkê | |||
Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
Parametreyên Mekanîk | |||
Çap | 150,0±0,2mm | ||
Qewîtî | 350±25 μm | ||
Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
Daîreya duyemîn | Netû | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Awayî | |||
Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Qalîteya pêşîn | |||
Pêşde | Si | ||
Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
Çîpên qiraxên / derdan / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
Back Quality | |||
Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
Qerax | |||
Qerax | Chamfer | ||
Packaging | |||
Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
*Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. |