EwMOCVDrêbaz yek ji pêvajoyên herî domdar e ku naha di pîşesaziyê de tê bikar anîn da ku fîlimên tenik yek-krîstalî yên qalîteya bilind mezin bikin, wek epîlayerên InGaN yek qonax, materyalên III-N, û fîlimên nîvconductor yên bi strukturên bîrên pir quantum, û di nav de pir girîng e. çêkirina alavên nîvconductor û optoelektronîk.
Ewsusceptor MOCVD nixumandina SiCxwedan waferek pispor e ku bi karbîd silicon (SiC) ve hatî pêçandî yeepitaxial mezinbûna di pêvajoya depokirina buhara kîmyewî ya organîk a metal (MOCVD).
Kişandina SiC xwedan berxwedana kîmyewî û aramiya germî ya hêja ye, ku ew ji bo susceptorên MOCVD-ê ku di daxwazkirina pêvajoyên mezinbûna epitaxial de têne bikar anîn vebijarkek îdeal e.
Parçeyek bingehîn a pêvajoya MOCVD susceptor e, ku hêmanek bingehîn e ku yekrêzî û kalîteya fîlimên zirav ên hilberandinî misoger dike.
susceptor çi ye? The susceptor hêmanek pispor e ku di pêvajoya MOCVD de tête bikar anîn da ku piştgirî û germkirina substratê ya ku fîlima nazik li ser tê razandin. Gelek fonksiyonên wê hene, di nav de vegirtina enerjiya elektromagnetîk, veguheztina wê di germê de, û bi rengek wekhev germê li ser substratê belav dike. Ev germkirina yekgirtî ji bo mezinbûna fîlimên zirav ên yekbûyî yên bi stûrbûn û pêkhatina rastîn pêdivî ye.
Cureyên susceptors:
1. Hestgirên grafîtê: Pişkên grafît bi gelemperî bi qatek parastinê ve têne pêçandin.silicon carbide (SiC), ku ji bo germbûna germî û aramiya xwe ya bilind tê zanîn. EwÇêkirina SiCrûberek hişk û parastinê peyda dike ku di germahiyên bilind de li hember korozyon û hilweşandinê li ber xwe dide.
2. Silicon carbide (SiC) susceptors: Ev susceptors bi tevahî ji SiC têne çêkirin û xwedan îstîqrara germî û berxwedana cilê ya hêja ne. Susceptorên SiC bi taybetî ji bo pêvajoyên germahiya bilind û hawîrdorên zerardar in.
Meriv çawa di MOCVD de kar dike:
Di pêvajoya MOCVD de, pêşgir têne avêtin hundurê jûreya reaksiyonê ku li wir diqelişe û bertek nîşan dide ku li ser substratê fîlimek zirav çêbike. Susceptor rolek girîng dilîze bi piştrastkirina ku substrate bi rengek yeksan tê germ kirin, ku ev yek ji bo bidestxistina taybetmendiyên fîlimê yên domdar li seranserê rûyê substratê krîtîk e. Materyal û sêwirana susceptor bi baldarî têne hilbijartin da ku hewcedariyên taybetî yên pêvajoya hilweşandinê, wek rêza germahiyê û lihevhatina kîmyewî bicîh bîne.
Feydeyên bikaranîna susceptors-kalîteya bilind:
• Qalîteya fîlimê ya pêşkeftî: Bi peydakirina belavkirina germê ya yekgirtî, susceptor alîkariya bidestxistina fîlimên bi stûrbûn û pêkhatina hevgirtî dike, ku ji bo performansa amûrên nîvconductor krîtîk e.
• Berbiçavbûna pêvajoyê: Pêşkêşkerên kalîteya bilind bi kêmkirina îhtîmala kêmasiyan û zêdekirina berberiya fîlimên bikêrhatî bikêrhatina giştî ya pêvajoya MOCVD zêde dikin.
• Jiyan û pêbawerî: Susceptors ji materyalên domdar ên wekî SiC hatine çêkirin pêbaweriya demdirêj piştrast dikin û lêçûnên lênêrînê kêm dikin.
Susceptor di pêvajoya MOCVD-ê de hêmanek yekgirtî ye û rasterast bandorê li kalîte û karbidestiya depokirina fîlima nazik dike. Ji bo bêtir agahdarî li ser pîvanên berdest, susceptors MOCVD û bihayên, ji kerema xwe dudilî nebin ku bi me re têkilî daynin. Endezyarên me dê kêfxweş bibin ku hûn li ser materyalên maqûl şîret bikin û bersiva hemî pirsên we bidin.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Dema şandinê: Tebax-12-2024