Depokirina Vapora Kîmyewî ya Metal-Organîk (MOCVD) di pîşesaziya nîvconductor de pêvajoyek girîng e, ku fîlimên tenik-kalîteya bilind li ser binesaziyan têne razandin. Parçeyek bingehîn a pêvajoya MOCVD susceptor e, hêmanek girîng e ku di dabînkirina yekrengî û kalîteya fîlimên hilberandî de rolek girîng dilîze.
Susceptor çi ye? Susceptor pêkhateyek pispor e ku di pêvajoya MOCVD de tête bikar anîn da ku piştgirî û germkirina substratê ku li ser fîlimên nazik têne razandin. Ew gelek fonksiyonan dike, di nav de vegirtina enerjiya elektromagnetîk, veguheztina wê ya germê, û bi yekcarî belavkirina vê germê li ser substratê. Ev germkirina yekgirtî ji bo mezinbûna fîlimên homojen ên bi qelewbûn û pêkhatina rastîn pêdivî ye.
Cureyên Susceptors:
1. Susceptors Graphite: Bi gelemperî bi qatek parastinê, wekîsilicon carbide (SiC), susceptorên grafît ji bo germbûna germî û aramiya xwe ya bilind têne zanîn. EwÇêkirina SiCrûberek hişk û parastinê peyda dike ku di germahiyên bilind de li hember korozyon û hilweşandinê li ber xwe dide.
2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors: Ev bi tevahî ji SiC-ê têne çêkirin, îstîqrara germî ya hêja û berxwedana li hember xitimandinê peyda dikin.susceptors SiCbi taybetî ji bo pêvajoyên germahiya bilind û hawîrdorên korozyonê maqûl in.
ÇawaSusceptorsDi MOCVD de kar bikin:
Di pêvajoya MOCVD-ê de, pêşgotin di hundurê jûreya reaktorê de têne danîn, li wir ew perçe dibin û bertek nîşan didin ku li ser substratê fîlimek zirav çêbikin. Susceptor bi piştrastkirina ku substrate bi yekdestî tê germ kirin, rolek girîng dilîze, ku ev yek ji bo bidestxistina taybetmendiyên fîlimê yên domdar li seranserê rûyê substratê krîtîk e. Materyal û sêwirana susceptor bi baldarî têne hilbijartin da ku bi hewcedariyên taybetî yên pêvajoya depokirinê, wek rêza germahiyê û lihevhatina kîmyewî, li hev bikin.
Feydeyên BikaranînaSusceptors-Qalîteya Bilind:
• Qalîteya fîlimê ya pêşkeftî: Bi peydakirina belavkirina germê ya yekgirtî, susceptors di bidestxistina fîlimên bi stûrbûn û pêkhatina hevgirtî de, ku ji bo performansa amûrên nîvconductor girîng e, dibe alîkar.
• Zêdebûna Karûbariya Pêvajoyê: Pevgirêkên qalîteya bilind bi kêmkirina îhtîmala kêmasiyan û zêdekirina berberiya fîlimên bikêrhatî kargêriya giştî ya pêvajoya MOCVD çêtir dikin.
• Dirêjbûn û pêbawerî: Susceptors ku ji materyalên domdar ên mîna SiC hatine çêkirin pêbaweriya demdirêj û kêmkirina lêçûnên lênihêrînê piştrast dikin.
Encam: Susceptor di pêvajoya MOCVD de hêmanek domdar e, ku rasterast bandorê li kalîte û karîgeriya depokirina fîlima zirav dike. Bi hilbijartina maddî û sêwirana rastê ya susceptor, hilberînerên nîvconductor dikarin pêvajoyên xwe xweşbîn bikin, ku di encamê de performansa amûrê çêtir û lêçûnên hilberînê kêm dibe. Gava ku daxwaza amûrên elektronîkî yên bi performansa bilind her ku diçe mezin dibe, girîngiya MOCVD-ya kalîteya bilind
Dema şandinê: Tebax-12-2024