Isostatic PECVD Graphite Boat

Wêneya Taybetmendî ya Keştiya Grafîtê ya Isostatic PECVD

Kurte Danasîn:

Keştiya grafîtê PECVD ya îsostatîkî bi berfirehî di girêdanên cihêreng ên hilberîna nîvconductor de tê bikar anîn, wek mînak danasîna fîlima polîsîlîkon, rûxandina fîlima oksîdê, rûxandina fîlima nîtrîdê, hwd. Performansa wê ya hêja ew di pêvajoya PECVD de hilgirê waferek îdeal dike.

E-nameyê ji me re bişînin

Detail Product

Tags Product

SEMICERA keştiya grafîtê ya îsostatîkî ya PECVD hilberek grafîtê ya paqij-paqijiya bilind e, ku ji bo piştgiriya waferê di pêvajoya PECVD de (hilweşîna vapora kîmyewî ya zêdekirî ya plazmayê) hatî çêkirin. SEMICERA teknolojiyek pêlava isostatîkî ya pêşkeftî bikar tîne da ku pê ewle bibe ku keştiya grafît xwedan berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, îstîqrara dimensîyonê û guheztina germî ya baş e, ku di pêvajoya çêkirina nîvconductor de xerckirina domdar e.

Keştiya grafît a PECVD ya isostatîk SEMICERA xwedî avantajên jêrîn e:

▪ Paqijiya bilind: Materyalên grafît ji paqijiya bilind û naveroka nepakî ya kêm e ku ji qirêjiya rûbera waferê dûr nekevin.

▪ Dendika bilind: Dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li germahiya bilind û hawîrdora valahiya bilind bisekine.

▪ Îstîqrara pîvanê ya baş: Guhertina pîvanê ya piçûk di germahiya bilind de da ku aramiya pêvajoyê misoger bike.

▪ Germbûna germî ya hêja: Bi bandor germê vediguhezînin da ku pêşî li germbûna waferê bigirin.

▪ Berxwedana korozyonê ya bihêz: Dikare li hember erozyona bi gazên cûrbecûr û plazmayê yên korozîf li ber xwe bide.

Parametreya performansê	semicera	SGL R6510	Parametreya performansê
Dendika mezin (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Hêza bendkirinê (MPa)	63	60	49
Hêza zextê (MPa)	135	130	103
Zehmetiya Peravê (HS)	70	64	60
Rêjeya berfirehbûna germê (10-6/K)	85	105	130
Rêjeya berfirehbûna germê (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Berxwedan (μΩm)	11-13	13	10

Avantajên hilbijartina me:
▪ Hilbijartina materyalê: Materyalên grafît ên paqijiya bilind têne bikar anîn da ku kalîteya hilberê piştrast bikin.
▪ Teknolojiya Pêvajoyê: Ji bo dabînkirina dendibûn û yekrengiya hilberê, zexta îsostatîkî tê bikar anîn.
▪ Xweseriya mezinahiyê: Keştiyên grafît ên bi mezinahî û şeklên cihêreng dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweş kirin.
▪ Tedawiya rûkalê: Cûrbecûr rêbazên tedawiya rûkalê têne peyda kirin, wek karbîd silicon, nitride boron, hwd., da ku hewcedariyên pêvajoyê yên cihêreng bicîh bînin.