Semicera serbilind e ku pêşkêşî dikeGa2O3Substrate, maddeyek herî pêşkeftî ya ku amade ye şoreşa elektronîk û optoelektronîk a hêzê bike.Oksîdê Galium (Ga2O3) substratebi bandgapa xwe ya ultra-berfireh têne zanîn, ku wan ji bo cîhazên bi hêz û frekansa bilind îdeal dike.
Taybetmendiyên sereke:
• Bandgap Ultra-Wide: Ga2O3 bandgap bi qasî 4.8 eV pêşkêşî dike, bi girîngî şiyana xwe ya hilgirtina voltaj û germahiyên bilind li gorî materyalên kevneşopî yên mîna Silicon û GaN zêde dike.
• Voltaja Hilweşîna Bilind: Bi qada veqetandinê ya awarte, yaGa2O3Substrateji bo cîhazên ku hewceyê xebata voltaja bilind in, bêkêmasî ye, ku karbidestî û pêbaweriya mezintir peyda dike.
• Stêra germî: Stêra germî ya bilind a materyalê wê ji bo sepanên li hawîrdorên giran guncan dike, di bin şert û mercên dijwar de jî performansê diparêze.
• Serlêdanên Piralî: Ji bo karanîna di transîstorên hêza bikêrhatî, cîhazên optoelektronîkî yên UV û hêj bêtir de îdeal e, ji bo pergalên elektronîkî yên pêşkeftî bingehek zexm peyda dike.
Pêşeroja teknolojiya semiconductor bi Semicera's re biceribîninGa2O3Substrate. Ji bo bicîhanîna daxwazên mezin ên elektronîkên bi hêz û frekansa bilind hatî sêwirandin, ev substrate ji bo performans û domdariyê standardek nû destnîşan dike. Ji Semicera bawer bikin ku ji bo serîlêdanên weya herî dijwar çareseriyên nûjen peyda dike.
| Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
| Parametreyên Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametreyên Elektrîkê | |||
| Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
| Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametreyên Mekanîk | |||
| Çap | 150,0±0,2mm | ||
| Qewîtî | 350±25 μm | ||
| Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
| Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
| Daîreya duyemîn | Netû | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Awayî | |||
| Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qalîteya pêşîn | |||
| Pêşde | Si | ||
| Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
| Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
| Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
| Çîpên qiraxa / hêlîn / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
| Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
| Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
| Back Quality | |||
| Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
| Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
| Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
| Qerax | |||
| Qerax | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
| *Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. | |||
