Semicerabi serbilindî pêşkêş dikeGa2O3Epitaxy, çareseriyek pêşkeftî ya ku ji bo derbaskirina sînorên elektronîk û optoelektronîkên hêzê hatî çêkirin. Ev teknolojiya pêşkeftî ya epitaxial taybetmendiyên bêhempa yên Gallium Oxide (Ga2O3) di sepanên daxwazî de performansa bilind peyda bike.
Taybetmendiyên sereke:
• Bandgap Wide awarte: Ga2O3Epitaxybandgapek ultra-berfireh vedihewîne, ku rê dide voltaja hilweşînê ya bilind û xebata bikêrhatî di hawîrdorên hêza bilind de.
•Têkiliya Germiya Bilind: Tebeqeya epîtaksial veguheztina germî ya hêja peyda dike, tewra di bin şert û mercên germahiya bilind de xebata aram peyda dike, ku ew ji bo amûrên frekansa bilind îdeal dike.
•Kalîteya materyalê ya bilind: Bi kêmasiyên hindiktirîn re qalîteya krîstal a bilind bi dest bixin, ku performansa amûrê ya çêtirîn û dirêjahî peyda bikin, nemaze di serîlêdanên krîtîk ên wekî transîstorên hêzê û detektorên UV de.
•Pirrengî di Serîlêdanan de: Ji bo elektronîkên hêzê, sepanên RF, û optoelektronîkê bêkêmasî maqûl e, ku bingehek pêbawer ji bo cîhazên nîv-conductor yên nifşê din peyda dike.
Potansiyela kifş bikinGa2O3Epitaxybi çareseriyên nûjen ên Semicera re. Berhemên me yên epitaxial têne sêwirandin ku standardên herî bilind ên kalîte û performansê bicîh bînin, ku cîhazên we dihêlin ku bi karîgerî û pêbaweriya herî zêde bixebitin. Ji bo teknolojiya nîvconductor ya pêşkeftî Semicera hilbijêrin.
| Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
| Parametreyên Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametreyên Elektrîkê | |||
| Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
| Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametreyên Mekanîk | |||
| Çap | 150,0±0,2mm | ||
| Qewîtî | 350±25 μm | ||
| Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
| Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
| Daîreya duyemîn | Netû | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Awayî | |||
| Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qalîteya pêşîn | |||
| Pêşde | Si | ||
| Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
| Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
| Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
| Çîpên qiraxên / derdan / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
| Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
| Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
| Back Quality | |||
| Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
| Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
| Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
| Qerax | |||
| Qerax | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
| *Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. | |||
