RTPzengilên CVD SiCbi berfirehî di warên pîşesazî û zanistî de di germahiya bilind û hawîrdorên korozîf de têne bikar anîn. Ew di hilberîna semiconductor, optoelektronîk, makîneyên rast û pîşesaziya kîmyewî de rolek girîng dilîze. Serîlêdanên taybetî hene:
1. Hilberîna semiconductor:RTP CVD SiC dixedikare ji bo germkirin û sarbûna alavên nîvconductor were bikar anîn, kontrolkirina germahiya aram peyda dike û rastbûn û hevgirtina pêvajoyê peyda dike.
2. Optoelektronîk: Ji ber veguhestina germî ya hêja û berxwedana germahiya bilind, RTPzengilên CVD SiCdikare wekî piştgirî û materyalên belavkirina germê ji bo lazer, alavên ragihandinê yên fiber optîk û pêkhateyên optîkî were bikar anîn.
3. Makîneyên rast: Zengên RTP CVD SiC dikarin ji bo amûr û amûrên rast ên di germahiya bilind û hawîrdorên gemarî de, wekî firneyên germahiya bilind, amûrên valahiya û reaktorên kîmyewî werin bikar anîn.
4. Pîşesaziya kîmyewî: Ji ber berxwedana korozyonê û aramiya kîmyewî, zengilên RTP CVD SiC dikarin di konteyneran, lûle û reaktoran de di reaksiyonên kîmyewî û pêvajoyên katalîtîk de werin bikar anîn.
Pergala Epi
Sîstema RTP
Sîstema CVD
Performansa hilberê:
1. Pêvajoya li jêr 28nm hevdîtin bikin
2. Berxwedana korozyonê ya super
3. Performansa super paqij
4. Serhişkiya super
5. Density bilind
6. Berxwedana germahiya bilind
7. Berxwedana cilê
Serlêdana hilberê:
Materyalên karbîd ên silicon xwedan taybetmendiyên serhişkiya bilind, berxwedana lixwekirinê, berxwedana korozyonê û aramiya germahiya bilind in. Berhemên xwedan performansa berfireh a hêja bi berfirehî di pêvajoyên etching û TF / Diffusion de têne bikar anîn.
Performansa hilberê:
1. Pêvajoya li jêr 28nm hevdîtin bikin
2. Berxwedana korozyonê ya super
3. Performansa super paqij
4. Serhişkiya super
5. Density bilind
6. Berxwedana germahiya bilind
7. Berxwedana cilê
Pêşveçûna pêvajoya tevlihev:
Grafît + Sic Coating
Solide CvD sic
SiC + CVD acilandî
SicSintered SiC
Pêşveçûna cûrbecûr hilberê:
Qulp
Mêz
Susceptor
Serê serşokê