AlN Heater ji hêla semicera ve çareseriyek germkirinê ya pêşkeftî ye ku ji seramîk nîtrîda aluminiumê hatî çêkirin, ji bo sepanên performansa bilind di pîşesaziyên wekî nîvconductor, pergalên valahiya, û hêj bêtir hatî çêkirin. Germbûna germî û îzolasyona elektrîkê ya vê germê ya bêhempa wê ji bo germkirina rast li hawîrdorên daxwazkirî yên wekî hilberandina wafer, vaporatorên valahiya, û makîneyên şuştinê îdeal dike.
Di semicera de, em bi pêşkêşkirina hilberên asta herî bilind ên ku hewcedariyên pîşesaziyê bicîh tînin serbilind in, û AlN Heater jî ne îstîsna ye. Ji nîtrîda aluminumê (AlN) hatî çêkirin, ev germker berxwedana germê ya hêja, berfirehbûna germî ya kêm, û şiyana ku li ber germahiyên giran bê tawîzkirina performansê radibe pêşkêşî dike. Dabeşkirina germahiya wê ya bikêr wê ji bo pêvajoyên krîtîk ên mîna hilweşandina buhara kîmyewî (CVD) û serîlêdanên din ên fîlima tenik minasib dike.
Wekî din, AlN Heater ji bo entegrasyonê di nav germkerên wafer û evaporatorên valahiyê de bêkêmasî ye, û ew ji bo hilberînerên ku xwe dispêrin hêmanên germkirinê yên domdar, bi kalîte ve çareseriyek piralî dike. Bi makînekirina nîtrîda aluminium û nîtrida rast a avakirina aluminiumê, germker ji bo pêbaweriya demdirêj û kontrolkirina germkirina rast tê çêkirin.
Ger hûn li çareseriyek nîtrîda aluminiumê ya AlN-ê digerin ku hem di domdarî û hem jî bikêrhatî de jêhatî ye, semicera di AlN Heater de vebijarkek pêbawer peyda dike. Vê germkerê seramîk a pêşkeftî di pêvajoyên CVD, sputtering, û sepanên din ên nîvconductor de teknolojiyên pêşkeftî piştgirî dike, ku di hawîrdorên germahiya bilind de yekbûna pêvajoyê diparêze.
