6 '' Wafer Carrier ji bo Aixtron G5 ji hêla Semicera ve hatî çêkirin ku ji bo daxwazên daxwazkirina pêvajoyên mezinbûna epitaxial di pergalên Aixtron G5 de bicîh bîne. Ev bi grafît-kalîteya bilind hatî çêkirinhilgirê waferîstîqrar û yekrengiyê di dema ku tê de peyda dikeCVDûpêvajoyên MOCVD, di reaktora epi de depokirina rastîn pêk tîne.
Bisilicon carbide seramîkxêzkirin, 6 '' Wafer Carrier ji bo Aixtron G5 domdarî û berxwedana germî ya zêde pêşkêşî dike, ku ew ji bo serîlêdanên germahiya bilind di mezinbûna epîtaksial de îdeal dike. Ev hilber ji bo piştgirîkirina bi bandor hatî çêkirinwaferhilberandin û performansa herî zêde di hilberîna nîvconductor de.
Li Semicera, em balê dikişînin ser peydakirina çareseriyên jor ên ji bo pîşesaziya nîvconductor. Hilgirên waferên me ji bo pêbaweriyê têne çêkirin, ku di pergalên Aixtron G5 û yên din de xebata bêkêmasî peyda dike.Epitaxy CVDreaktorên. Ma hûn bi karbîd silicon an materyalên din re dixebitin, ev hilgirê wafer rastbûn û domdariya ku ji bo hilberîna nîvconductor ya pêşkeftî hewce dike piştrast dike.
Taybetmendiyên sereke:
• Ji bo pergalên Aixtron G5 û reaktorên din ên CVD MOCVD xweşbîn kirin.
• Kêmkirina grafît-kalîteya bilind bi pêlavek seramîk a karbîdê silicon ji bo domdariya zêde.
• Ji bo pêvajoyên mezinbûna epîtaksial ku pêdivî bi rastbûn û aramiya germî heye îdeal e.
• Desthilatdariya pêbawer a waferê di hawîrdorên nîvconductor yên tevlihev de.
Semicera ji bo peydakirina çareseriyên pêşkeftî veqetandî ye, ku her 6 '' Wafer Carrier ji bo hewcedariyên weya epitaxy standardên herî bilind bicîh tîne.