Karbîd silicon (SiC) madeya yek krîstal xwedan firehiya valahiya bandê ya mezin (~ Si 3 carî), guheztina germî ya bilind (~ Si 3,3 car an GaAs 10 carî), rêjeya koçberiya têrbûna elektronê ya bilind (~ Si 2,5 carî), elektrîkê hilweşîna bilind zeviyê (~ Si 10 car an GaAs 5 carî) û taybetmendiyên din ên berbiçav.
Materyalên nîvconductor nifşê sêyem bi giranî SiC, GaN, elmas, hwd., ji ber ku firehiya valahiya banda wê (Mînakî) ji 2,3 elektron volt (eV) mezintir an wekhev e, ku wekî materyalên nîvconductor valahiya band fireh jî tê zanîn. Li gorî materyalên nîvconductor nifşê yekem û duyemîn, materyalên nîvconductor nifşê sêyem xwedan avantajên guheztina germî ya bilind, zeviya elektrîkê ya hilweşîna bilind, rêjeya koçberiya elektronê ya têrbûyî û enerjiya girêdana bilind e, ku dikare hewcedariyên nû yên teknolojiya elektronîkî ya nûjen ji bo bilind bicîh bîne. germahî, hêza bilind, tansiyona bilind, frekansa bilind û berxwedana radyasyonê û şert û mercên dijwar ên din. Ew di warên berevaniya neteweyî, hewavanî, asmanî, lêgerîna neftê, hilanîna optîkî, hwd de perspektîfên serîlêdanê yên girîng hene, û dikare di gelek pîşesaziyên stratejîk ên wekî ragihandina berfereh, enerjiya rojê, hilberîna otomobîlan de ji% 50 kêm bike. ronahiya nîvconductor, û tora biaqil, û dikare qebareya amûrê ji% 75 kêm bike, ku ev yek ji bo pêşkeftina zanista mirovî û girîngiyek girîng e. teknolojiya.
Enerjiya Semicera dikare ji xerîdaran re bi jêrzemîna karbîd a silîkonê ya bi kalîte Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) peyda bike; Wekî din, em dikarin ji xerîdaran re pelên epîtaksial ên karbîdê silicon homojen û heterojen peyda bikin; Di heman demê de em dikarin pelê epitaxial li gorî hewcedariyên taybetî yên xerîdar xweş bikin, û hêjmara fermanê ya hindiktirîn tune.
| Items | Çêkerî | Lêkolîn | Dummy |
| Parametreyên Crystal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Çewtiya arastekirina rûvî | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametreyên Elektrîkê | |||
| Dopant | n-tîpa Nîtrojen | ||
| Berxwedan | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametreyên Mekanîk | |||
| Çap | 150,0±0,2mm | ||
| Qewîtî | 350±25 μm | ||
| Arasteya daîre ya seretayî | [1-100]±5° | ||
| Dirêjahiya daîreya seretayî | 47,5±1,5mm | ||
| Daîreya duyemîn | Netû | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Girêk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Zehmetiya pêşiyê (Si-rû) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Awayî | |||
| Density Micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nepaqijiyên metal | ≤5E10 atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Qalîteya pêşîn | |||
| Pêşde | Si | ||
| Dawiya rûyê | Si-rûyê CMP | ||
| Parçeyên | ≤60ea/wafer (mezin≥0.3μm) | NA | |
| Scratches | ≤5ea/mm. Dirêjahiya berhevkirî ≤Diameter | Dirêjahiya berhevkirî≤2*Dirêjahî | NA |
| Pelê porteqalî / qul / lek / kêş / şikestin / gemarî | Netû | NA | |
| Çîpên qiraxên / derdan / şikestin / lewheyên hex | Netû | ||
| Herêmên Polytype | Netû | Qada kombûyî≤20% | Qada kombûyî≤30% |
| Nîşana lazerê ya pêşîn | Netû | ||
| Back Quality | |||
| Paş qedandin | C-rûyê CMP | ||
| Scratches | ≤5ea/mm, Dirêjahiya berhevkirî≤2*Diameter | NA | |
| Kêmasiyên piştê (çîpên qiraxê / xêzkirin) | Netû | ||
| Zehmetiya piştê | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nîşana lazerê ya paşîn | 1 mm (ji qiraxa jorîn) | ||
| Qerax | |||
| Qerax | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-amade bi pakkirina valahiya Pakêkirina kasetên pir-wafer | ||
| *Têbînî: "NA" tê wateya ku tu daxwaz tune. | |||
