Pargîdaniya me pêşkêşî dikeÇêkirina SiCKarûbarên li ser rûyê grafît, seramîk û materyalên din bi rêbaza CVD-ê pêvajoyê bikin, da ku gazên taybetî yên ku karbon û silicon dihewîne dikarin di germahiya bilind de bertek bikin û molekulên Sic-ê yên paqij-paqij bi dest bixin, ku dikarin li ser rûyê materyalên pêçandî werin razandin da ku ava bikin.Tebeqeya parastinê ya SiCji bo epitaxy bermîl type hy pnotic.
Taybetmendiyên sereke:
1 .Grafîtê pêça SiC paqijiya bilind
2. Berxwedana germê ya bilind & yekdestiya germî
3. Baş eKrîstala SiC tê pêçanji bo rûberek nerm
4. Li dijî paqijkirina kîmyewî berxwedana bilind
Taybetmendiyên sereke yênCVD-SIC Coating
| Taybetmendiyên SiC-CVD | ||
| Structure Crystal | Qonaxa β FCC | |
| Density | g/cm ³ | 3.21 |
| Hardness | Serhişkiya Vickers | 2500 |
| Mezinahiya Genim | μm | 2~10 |
| Paqijiya Kîmyewî | % | 99.99995 |
| Heat Capacity | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Germahiya Sublimation | ℃ | 2700 |
| Hêza Felexural | MPa (RT 4-xala) | 415 |
| Modula Ciwan | Gpa (4pt bend, 1300℃) | 430 |
| Berfirehkirina Termal (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Germiya germî | (W/mK) | 300 |
