Terîf
Pargîdaniya me pêşkêşî dikeÇêkirina SiCKarûbarên bi rêbaza CVD li ser rûyê grafît, seramîk û materyalên din pêvajoyê bikin, da ku gazên taybetî yên ku karbon û silicon dihewîne di germahiya bilind de bertek nîşan bidin ku molekulên SiC yên paqijiya bilind bistînin, molekulên ku li ser rûyê materyalên pêçandî têne razandin, çê dibin.Tebeqeya parastinê ya SiC.
Taybetmendiyên sereke
1. Berxwedana oksîdasyona germahiya bilind:
Dema ku germahî bi qasî 1600 C be, berxwedana oksîdasyonê hîn jî pir baş e.
2. Paqijiya bilind: ji hêla hilweşandina vaporê kîmyewî ve di bin şerta klorîna germahiya bilind de hatî çêkirin.
3. Berxwedana erozyonê: serhişkiya bilind, rûbera tevlihev, perçeyên hûr.
4. Berxwedana korozyonê: asîd, alkali, xwê û reagentên organîk.
Taybetmendiyên sereke yên CVD-SIC Coating
| Taybetmendiyên SiC-CVD | ||
| Structure Crystal | Qonaxa β FCC | |
| Density | g/cm ³ | 3.21 |
| Hardness | Serhişkiya Vickers | 2500 |
| Mezinahiya Genim | μm | 2~10 |
| Paqijiya Kîmyewî | % | 99.99995 |
| Heat Capacity | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Germahiya Sublimation | ℃ | 2700 |
| Hêza Felexural | MPa (RT 4-xala) | 415 |
| Modula Ciwan | Gpa (4pt bend, 1300℃) | 430 |
| Berfirehkirina Termal (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Germiya germî | (W/mK) | 300 |
Xemil
