Di warê çêkirina nîvconductor de, yaSiC Paddlerolek girîng dilîze, nemaze di pêvajoya mezinbûna epitaxial de. Wekî pêkhateyek bingehîn ku tê de tê bikar anînMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) sîstemên,SiC Paddlesji bo ku germahiyên bilind û hawîrdorên dijwar ên kîmyewî ragirin têne çêkirin, ku wan ji bo hilberîna pêşkeftî hewce dike. Li Semicera, em di hilberîna performansa bilind de pispor inSiC Paddlesji bo herduyan hatiye dîzaynkirinSi EpitaxyûSiC Epitaxy, domdariya awarte û aramiya germî pêşkêşî dike.
Bikaranîna SiC Paddles bi taybetî di pêvajoyên wekî mezinbûna epitaxial de, ku li ku derê substrat hewceyê şert û mercên germî û kîmyewî yên rastîn e de berbelav e. Berhemên me yên Semicera performansa çêtirîn li hawîrdorên ku hewceyê aMOCVD Susceptor, ku tebeqeyên karbîd silicon-a-kalîteya bilind li ser substratan têne razandin. Ev dibe alîkar ku baştir bibewaferdi hilberîna nîvconductor de kalîte û karbidestiya cîhaza bilindtir.
Semicera'sSiC Paddlesne tenê ji bo hatine çêkirinSi Epitaxylê di heman demê de ji bo cûrbecûr serîlêdanên krîtîk ên din jî hatî çêkirin. Mînakî, ew bi PSS Etching Carriers re hevaheng in, di hilberîna waferên LED-ê de, ûICP Etching Carriers, li cihê ku kontrolkirina îyonê ya rast ji bo şekilkirina waferan hewce ye. Van pêlavan ji pergalên mîna yekpare neRTP Carriers(Pêvajoya Germiya Lezgîn), li cihê ku hewcedariya veguheztina germahiya bilez û guheztina germî ya bilind pir girîng e.
Wekî din, SiC Paddles wekî LED Epitaxial Susceptors kar dikin, ku mezinbûna pêlavên LED-ê yên bikêrhatî hêsantir dike. Kapasîteya hilgirtina cûrbecûr stresên germî û hawîrdorê wan di nav pêvajoyên cûda yên çêkirina nîvconductor de pir jêhatî dike.
Bi tevayî, Semicera pabend e ku SiC Paddles radest bike ku hewcedariyên bikêrhatî yên hilberîna nîvconductor ya nûjen bicîh tîne. Ji SiC Epitaxy bigire heya MOCVD Susceptors, çareseriyên me pêbawerî û performansa çêtir peyda dike, ku daxwazên pêşkeftî yên pîşesaziyê bicîh tîne.
Dema şandinê: Sep-07-2024