Pîşesaziya nîvconductor xwe dispêre alavên pir pispor da ku amûrên elektronîkî yên bi kalîte hilberîne. Yek ji wan pêkhateyên krîtîk di pêvajoya mezinbûna epitaxial de hilgirê epi pan e. Ev amûr di danîna qatên epîtaksial ên li ser pêlên nîvconductor de rolek bingehîn dilîze, yekrengî û kalîteya hilbera dawîn misoger dike.
Hilgirek epi pan, ku wekî hilgirê panê epitaxy jî tê zanîn, tepsiyek taybetî ye ku di pêvajoya mezinbûna epitaxial de tê bikar anîn. Di dema daxistina qatên epîtaksial de waferên nîvconductor digire û piştgirî dike. Van hilgiran têne çêkirin ku li hember germahiyên bilind û hawîrdorên gemarî yên tîpîk ên pêvajoyên epitaxial bisekinin, ji bo mezinbûna qatên yek-krîstal platformek aram peyda dikin.
Materyal û Avakirin:
Hilgirên Epi pan bi gelemperî ji materyalên ku dikarin germahiyên giran ragirin û li hember reaksiyonên kîmyewî berxwedêr in têne çêkirin. Materyalên gelemperî hene:
•Silicon Carbide (SiC): SiC ji bo hilgirên epi pan vebijarkek populer e ku ji ber guheztina xweya germî ya bilind û berxwedana xwe ya li ber cil û oksîdasyonê tê zanîn.
• Grafît: Pir caran ji ber taybetmendiyên xwe yên germî yên hêja û jêhatîbûna parastina yekparebûna avahîsaziyê di germahiyên bilind de tê bikar anîn. Hilgirên grafîtê bi gelemperî bi SiC têne pêçandin da ku domdarî û berxwedana xwe ya li hember korozyonê zêde bikin.
Rola di Pêvajoya Mezinbûna Epitaxial de:
Pêvajoya mezinbûna epîtaksial bi danîna qatek zirav a maddeya krîstalî li ser substratek an waferê vedihewîne. Ev pêvajo di afirandina amûrên nîvconductor ên bi taybetmendiyên elektrîkî yên rastîn de pir girîng e. Hilgira epi pan piştgirî dide waferê di odeya reaksiyonê de û piştrast dike ku ew di dema pêvajoya hilweşandinê de domdar dimîne.
Fonksiyonên sereke yên hilgirê epi pan ev in:
• Dabeşkirina Germiya Yekgirtî: Hilgir belavkirina germahiyê li seranserê waferê jî misoger dike, ku ji bo bidestxistina qalindî û qalîteya tebeqeya epîtaksial a domdar pêdivî ye.
• Veqetandina kîmyewî: Bi peydakirina rûyek aram û bêserûber, hilgir rê li ber reaksiyonên kîmyewî yên nedilxwaz digire ku dikarin qalîteya qata epîtaksial xirab bikin.
Feydeyên Kalîteya BilindEpi Pan Carriers:
• Performansa Amûra Pêşkeftî: Tebeqên epîtaksial ên yekbûyî beşdarî performansa bilind a cîhazên nîvconductor dibin, ku di encamê de berberî û pêbaweriyek çêtir peyda dike.
• Hilberîna Zêdekirî: Bi kêmkirina kêmasiyan û misogerkirina rabûna qatek yekreng, hilgirên kalîteya bilind berberiya waferên nîvconduktorê yên bikêr çêtir dikin.
• Lêçûnên Lênêrînê yên Kêmkirî: Materyalên domdar û endezyariya rastîn hewcedariya guheztin û lênihêrînê ya pir caran kêm dike, lêçûnên hilberînê yên giştî kêm dike.
Hilgira epi pan di pêvajoya mezinbûna epitaxial de hêmanek girîng e, ku rasterast bandorê li kalîte û domdariya amûrên nîvconductor dike. Bi hilbijartina materyal û sêwirana rast, hilberîner dikarin pêvajoya epitaxial xweşbîn bikin, ku bibe sedema baştirkirina performansa cîhazê û kêmkirina lêçûnên hilberînê. Her ku daxwaza amûrên elektronîkî yên pêşkeftî mezin dibe, girîngiya kalîteya bilindepi pan carriersdi pîşesaziya semiconductor de her ku diçe zêde dibe.
Dema şandinê: Tebax-13-2024