Di Pêvajoya Pêvajoya Waferê ya Epitaxial de Rola Wê ya Girîng vekolîn
Fêmkirina Girîngiya Hilgirên Epi di Hilberîna Nîvconductor ya Pêşkeftî de
Di pîşesaziya nîvconductor de, hilberandina waferên epîtaksial (epi) yên qalîteya bilind di çêkirina amûrên wekî transîstor, diod û hêmanên elektronîkî yên din de gavek girîng e. Di vê pêvajoyê de navendî yeepi carrier, amûrek pispor a ku ji bo girtina waferan di dema depokirina epitaxial de bi ewlehî hatî çêkirin. Lê bi rastî hilgirê epi çi ye, û çima ew ji bo çêkirina nîvconductor pir girîng e?
Mezinbûna Epitaxial: Pêvajoyek Key Di Çêkirina Semiconductor de
Mezinbûna epîtaksî, an jî epîtaksî, pêvajoya danîna qatek tenik ji materyalê krîstal li ser waferek nîvconductor vedibêje. Ev tebeqe, ku wekî qata epîtaksial tê zanîn, xwedan heman arasteya krîstal e ku binê binê binê wê ye û ji bo zêdekirina taybetmendiyên elektrîkî yên waferê tê bikar anîn. Epitaxy di afirandina amûrên performansa bilind ên ku hewceyê kontrolek rastîn a li ser pêkhate û strukturê materyalê hewce dike, pêdivî ye.
Ji bo bidestxistina qalîteya xwestî û yekrengiya di qata epîtaksial de, pêdivî ye ku wafer di dema pêvajoya depokirinê de bi hûrgulî û aramî li cîh werin girtin. Ev der cihê yeepi carrierdikeve lîstikê.
Rola Epi Carrier
An epi carrieramûrek taybetî ya sêwirandî ye ku di dema pêvajoya hilweşandina epîtaksial de waferan digire. Ew bi gelemperî ji materyalên paqij-paqij tête çêkirin ku dikarin li germahiyên bilind û hawîrdorên reaktîf ên ku di epitaxy de têkildar in bisekinin. Sêwirana barkêşê piştrast dike ku wafer bi ewlehî têne cîh kirin û bi rengek wekhev li ber materyalên hilweşandinê têne xuyang kirin, ku di encamê de li seranserê rûbera waferê qatek epîtaksial a yekreng çêdibe.
Yek ji fonksiyonên bingehîn ên hilgirê epi ev e ku di tevahiya pêvajoya depokirinê de aramî û hevrêziya waferê biparêze. Her tevger an xeletî dikare bibe sedema kêmasiyên di qata epîtaksial de, ku dikare bi girîngî bandorê li performansa cîhaza nîvconductor ya paşîn bike. Di heman demê de pêdivî ye ku hilgir rê li ber gemariyê bigire û pê ewle bike ku di dema pêvajoyê de wafer ji perçeyan an nepaqijiyan bêpar bimînin.
Çima Karkerên Epi di Hilberîna Nîvconductor de Esasî ne
Qalîteya qata epitaxial rasterast bandorê li performansa amûrên nîvconductor dike. Bi vî rengî, rola hilgirê epi di bidestxistina standardên bilind ên ku di pîşesaziyê de têne xwestin de girîng e. Bi peydakirina jîngehek aram û kontrolkirî ya ji bo hilberandina waferê, hilgirê epi piştrast dike ku qata epîtaksial bi yekreng û bê kêmasî tê razandin.
Hilgirên Epi di piştgirîkirina mezinbûna hilberîna nîvconductor de jî girîng in. Her ku geometrîyên cîhazê piçûk dibin û daxwaziya performansa bilindtir mezin dibe, hewcedariya pêvajoyên epitaxial rast û pêbawer hîn bêtir krîtîk dibe. Hilgirên epi-ya-kalîteya bilind ji hilberîneran re dibe alîkar ku van daxwazan bi cih bînin û encamên domdar û ji nû ve çêbibin, her çend ku hilberî zêde dibe.
Xelasî
Bi kurtahî, hilgirê epi di pêvajoya çêkirina nîvconductor de, nemaze di hilberîna waferên epitaxial de, amûrek domdar e. Rola wê di dabînkirina aramiya wafer, lihevkirin û kontrolkirina pîsbûnê de ji bo bidestxistina qatên epîtaksial ên qalîteya bilind ên ku ji bo amûrên nîvconductor yên pêşkeftî hewce ne hewce ye. Ji ber ku pîşesazî berdewamkirina sînorên teknolojiyê didomîne, girîngiya hilgirên epi yên pêbawer û bikêr dê tenê zêde bibe, ku wan di peydakirina pêşkeftina di çêkirina nîvconductor de bibe hêmanek girîng.
Ji bo kesên ku di pîşesaziya nîvconductor de digerin ku pêvajoyên xwe yên epîtaksial xweştir bikin, têgihiştin û veberhênana li bargiranên epi-kalîteya bilind gavek girîng e ji bo bidestxistina encamên çêtir û domandina pêşbaziyek di sûkê de.
Dema şandinê: Tebax-19-2024