Pîşesaziya nîvconductor şahidê mezinbûnek bêhempa ye, nemaze di warêsilicon carbide (SiC)elektronîk hêza.Bi gelek pîvanên mezinwaferfabrîkên ku di bin çêkirin an berfirehbûnê de ne da ku hewcedariya zêde ya cîhazên SiC yên di wesayîtên elektrîkê de bicîh bînin, ev geşbûn ji bo mezinbûna qezencê derfetên berbiçav pêşkêşî dike.Lêbelê, ew di heman demê de pirsgirêkên bêhempa derdixe holê ku çareseriyên nûjen daxwaz dike.
Di dilê zêdekirina hilberîna çîpê SiC ya gerdûnî de çêkirina krîstalên SiC, wafer û qatên epîtaksial ên qalîteya bilind heye.Vir,grafît nîvconductor-polamateryal rolek bingehîn dilîzin, mezinbûna krîstalên SiC û daxistina qatên epîtaksial ên SiC hêsan dikin.Insulasyona germî û bêserûberiya grafît wê dike materyalek bijartî, ku bi berfirehî di xirbe, pedestal, dîskên gerstêrk û satelaytan de di nav pergalên mezinbûna krîstal û epîtaksiyê de tê bikar anîn.Digel vê yekê, şert û mercên pêvajoyê dijwar dijwariyek girîng derdixe holê, ku dibe sedema hilweşîna bilez a pêkhateyên grafîtê û dûv re jî hilberîna krîstalên SiC-a-kalîteyê û qatên epîtaksial asteng dike.
Hilberîna krîstalên karbîd ên silicon şert û mercên pir dijwar ên pêvajoyê vedihewîne, di nav de germahiya ku ji 2000 °C derbas dibe û maddeyên gazê yên pir rezîl.Ev bi gelemperî piştî çend çerxên pêvajoyê di korozyona bêkêmasî ya keriyên grafît de encam dide, bi vî rengî lêçûnên hilberînê zêde dike.Digel vê yekê, şert û mercên dijwar taybetmendiyên rûkal ên pêkhateyên grafîtê diguhezînin, dubarebûn û aramiya pêvajoya hilberînê asteng dike.
Ji bo şerkirina van dijwariyan bi bandor, teknolojiya pêlava parastinê wekî lîstikek guhezker derketiye holê.Kulîlkên parastinê li ser bingehakarbîd tantal (TaC)ji bo çareserkirina pirsgirêkên têkçûna pêkhateya grafît û kêmbûna peydakirina grafît hatine destnîşan kirin.Materyalên TaC germahiyek helandinê ji 3800 °C zêdetir û berxwedana kîmyewî ya awarte nîşan didin.Bikaranîna teknolojiya depokirina buhara kîmyewî (CVD),pêlên TaCbi qalindahiya heya 35 milîmetre dikare bêkêmasî li ser pêkhateyên grafît were razandin.Ev qata parastinê ne tenê aramiya materyalê zêde dike lê di heman demê de jîyana pêkhateyên grafît bi girîngî dirêj dike, di encamê de lêçûnên hilberînê kêm dike û karbidestiya xebitandinê zêde dike.
Semicera, pêşkêşkerek pêşeng apêlên TaC, di şoreşa pîşesaziya nîvconductor de bû alîkar.Bi teknolojiya xweya pêşkeftî û pabendbûna bêdawî ya bi kalîteyê re, Semicera rê da hilberînerên nîvconductor ku li ser kêşeyên krîtîk derbas bibin û bigihîjin astên nû yên serfiraziyê.Bi pêşkêşkirina pêlên TaC bi performans û pêbaweriya bêhempa, Semicera pozîsyona xwe wekî hevkarek pêbawer ji bo pargîdaniyên nîvconductor li çaraliyê cîhanê zexm kiriye.
Di encamê de, teknolojiya pêlava parastinê, ku ji hêla nûbûnên mîna ve hatî hêzdar kirinpêlên TaCji Semicera, perestgeha nîvconductor ji nû ve şekil dide û rê li ber pêşerojek bikêrtir û domdar vedike.
Dema şandinê: Gulan-16-2024