Di alavên etching plasma de, hêmanên seramîk rolek girîng dileyzin, di nav dezengila fokusê.Ew zengila fokusê, li dora waferê tê danîn û rasterast pê re têkiliyek heye, ji bo balkişandina plazmayê li ser waferê bi sepandina voltaja li ser zengilê pêdivî ye. Ev yekrengiya pêvajoya etching zêde dike.
Serîlêdana Zengên Focus SiC di Makîneyên Etching de
pêkhateyên SiC CVDdi makîneyên etching, wekrings focus, serşokên gazê, platen, û zengilên kenarê, ji ber reaktîvîteya kêm a SiC bi gazên xêzkirinê yên li ser bingeha klor û fluorînê û rêvekirina wê ve têne xweş kirin, ku ew ji bo alavên pîvazkirina plazmayê dike materyalek îdeal.
Awantajên SiC wekî Materyalek Zengek Focus
Ji ber ku di jûreya reaksiyonê ya valahiyê de rasterast bi plazmayê re rûbirû ye, pêdivî ye ku zengilên balê ji materyalên berxwedêr ên plazmayê werin çêkirin. Zengavên balkêş ên kevneşopî, ku ji silicon an quartzê têne çêkirin, di plasmayên bi fluorînê de ji ber berxwedana nebaş a xêzkirinê dikişînin, ku rê li ber korozyona bilez û kêmbûna kargêriyê vedike.
Berhevdana di navbera zengilên Focus Si û CVD de:
1. Densîta Bilind:Hêjmara etching kêm dike.
2. Bandgap Berfireh: Insulasyona hêja peyda dike.
3. Têkiliya Germiya Bilind & Rêjeya Berfirehkirina Kêm: Li hember şoka termal berxwedêr.
4. Elasticity Bilind:Berxwedana baş a li hember bandora mekanîkî.
5. Zehmetiya Bilind: Lixwekirin û berxwedêra korozyonê.
SiC guheztina elektrîkê ya silicon parve dike dema ku li hember etching ionîk berxwedanek bilindtir peyda dike. Her ku mînyaturkirina dorhêla yekbûyî pêş dikeve, daxwaziya pêvajoyên etchingê yên bikêrtir zêde dibe. Amûrên hilgirtina plazmayê, nemaze yên ku plasma hevgirtî ya kapasîtîf (CCP) bikar tînin, enerjiya plazmayê ya bilind hewce dike,rings focus SiCher ku diçe populer dibe.
Parametreyên zengila Focus Si û CVD:
| Parametre | Silicon (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Density (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Têkiliya germî (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Rêjeya Berfirehbûna Termal (x10⁻6/°C) | 2.6 | 4 |
| Modula Elastîk (GPa) | 150 | 440 |
| Hardness | Kêmkirin | Bilindtir |
Pêvajoya Çêkirina Xengên SiC Focus
Di alavên nîvconductor de, CVD (Danandina Vapora Kîmyewî) bi gelemperî ji bo hilberîna pêkhateyên SiC tê bikar anîn. Zengên fokûsê bi vekirina SiC-ê di nav şeklên taybetî de bi navgîniya hilanîna buharê ve têne çêkirin, li dûv re jî pêvajoyek mekanîkî tête çêkirin da ku hilbera dawîn çêbike. Rêjeya materyalê ya ji bo hilweşandina vaporê piştî ceribandinek berfireh tête rast kirin, ku pîvanên mîna berxwedanê lihevhatî dike. Lêbelê, alavên cûda yên etching dibe ku hewceyê zengilên balê bi berxwedanên cihêreng hewce bike, ku ji bo her taybetmendiyê ceribandinên rêjeya materyalê ya nû hewce dike, ku dem-dixwe û lêçûn e.
Bi hilbijartinarings focus SiCjiSemicera Semiconductor, xerîdar dikarin feydeyên çerxên guheztina dirêjtir û performansa bilindtir bêyî zêdebûnek berbiçav a lêçûn bi dest bixin.
Pêkhateyên Pêvajoya Germiya Bilez (RTP).
Taybetmendiyên germî yên awarte yên CVD SiC wê ji bo serîlêdanên RTP-ê îdeal dike. Pêkhateyên RTP, tevî zengilên kevçî û platan, ji CVD SiC sûd werdigirin. Di dema RTP-ê de, pêlên germê yên tund li ser waferên kesane ji bo demek kurt têne sepandin, li dûv sarbûna bilez. Zengên kêla CVD SiC, ku zirav in û xwedan girseya germî ya kêm in, germahiya girîng nahêlin, ji ber vê yekê wan ji pêvajoyên germkirin û sarbûna bilez bêbandor dike.
Pêkhateyên Etching Plasma
Berxwedana kîmyewî ya bilind a CVD SiC wê ji bo serîlêdanên etching guncan dike. Gelek odeyên etching lewheyên belavkirina gazê CVD SiC bikar tînin da ku gazên etching belav bikin, ku ji bo belavkirina plazmayê bi hezaran kunên piçûk hene. Li gorî materyalên alternatîf, CVD SiC bi gazên klor û fluorê re reaktîviyek kêmtir heye. Di etching zuwa de, hêmanên CVD SiC yên mîna zengilên balê, plakên ICP, zengilên sînor, û serşokê bi gelemperî têne bikar anîn.
Zengên balê yên SiC, digel voltaja xwe ya sepandin ji bo balkişandina plazmayê, pêdivî ye ku xwedan guheztinek têr bin. Bi gelemperî ji siliconê têne çêkirin, zengilên fokusê li ber gazên reaktîf ên ku fluorîn û klorê hene têne xuyang kirin, ku rê li ber korozyona neçar vedike. Zengên balê yên SiC, bi berxwedana xwe ya bilindtir a korozyonê, li gorî zengilên silicon dirêjtir jîyan peyda dikin.
Berhevdana çerxa jiyanê:
· Zengên Focus SiC:Her 15 û 20 rojan carekê tê guhertin.
· Zengên Focus Silicon:Her 10 û 12 rojan carekê tê guhertin.
Tevî ku zengilên SiC ji zengilên siliconê 2 û 3 qatan bihatir in, çerxa veguheztinê ya dirêjkirî lêçûnên guheztina hêmanên giştî kêm dike, ji ber ku dema ku ode ji bo guheztina zengila fokusê tê vekirin, hemî perçeyên cilê yên di odeyê de hevdem têne guhertin.
Zengên Focus SiC yên Semicera Semiconductor
Semicera Semiconductor zengilên fokusê yên SiC bi bihayên nêzê yên zengilên siliconê, bi demek pêşengî bi qasî 30 rojan pêşkêşî dike. Bi entegrekirina zengilên fokusê yên SiC yên Semicera di nav alavên etching plasma de, karbidestî û dirêjahî bi girîngî çêtir dibe, lêçûnên lênihêrînê yên giştî kêm dike û karbidestiya hilberînê zêde dike. Wekî din, Semicera dikare berxwedana zengilên balê xweş bike da ku daxwazên xerîdar ên taybetî bicîh bîne.
Bi hilbijartina zengilên fokusê yên SiC ji Semicera Semiconductor, xerîdar dikarin bêyî zêdebûnek berbiçav di lêçûnê de feydeyên dewreyên guheztinê yên dirêjtir û performansa bilindtir bi dest bixin.
Dema şandinê: Tîrmeh-10-2024