Pêşiya xeta hilberînê mîna danîna bingeh û avakirina dîwarên xaniyekê ye. Di hilberîna nîvconductor de, ev qonax bi çêkirina strukturên bingehîn û transîstorên li ser waferek silicon pêk tê.
Pêngavên sereke yên FEOL:
1. Paqijkirin:Bi waferek siliconê ya zirav dest pê bikin û wê paqij bikin da ku nepakiyê jê bibin.
2. Oksîdasyon:Li ser vaferê qatek dîoksîta silicon mezin bikin da ku beşên cûda yên çîpê veqetînin.
3. Fotolîtografî:Fotolîtografiyê bikar bînin da ku nexşeyan li ser waferê xêz bikin, mîna xêzkirina nexşeyên bi ronahiyê.
4. Etching:Dîoksîta siliconê ya nedilxwaz jê derxînin da ku qalibên xwestî eşkere bikin.
5. Dopîng:Nepaqijiyan têxin nav sîlîkonê da ku taybetmendiyên wê yên elektrîkê biguhezînin, transîstoran biafirînin, blokên avakirina bingehîn ên her çîpê.
Dawiya Navîn (MEOL): Girêdana xalan
Dawiya navîn a xeta hilberînê mîna sazkirina têl û avjeniyê li xaniyek e. Ev qonax balê dikişîne ser sazkirina girêdanên di navbera transîstorên ku di qonaxa FEOL de hatine afirandin.
Pêngavên sereke yên MEOL:
1. Depokirina Dielektrîkê:Ji bo parastina transîstoran qatên îzolekirinê (ku jê re dîelektrîk tê gotin) rakin.
2. Damezrandina Têkilî:Têkiliyan çêbikin ku transîstor bi hev û din û cîhana derve ve girêdin.
3. Têkilî:Qatên metal lê zêde bikin da ku rêyên ji bo sînyalên elektrîkê biafirînin, mîna têlkirina xaniyekê da ku hêz û herikîna daneya bêkêmasî misoger bikin.
Paş Dawiya Rêzê (BEOL): Têkiliyên Dawî
-
Dawiya paşîn a xeta hilberînê mîna lêzêdekirina pêlên dawîn li xaniyek e - sazkirina pêlavan, boyaxkirin, û piştrastkirina ku her tişt dixebite. Di hilberîna nîvconductor de, ev qonax lê zêdekirina qatên paşîn û amadekirina çîpê ji bo pakkirinê ye.
Pêngavên sereke yên BEOL:
1. Qatên Metal ên Zêdeyî:Gelek qatên metal lê zêde bikin da ku pêwendiyê zêde bikin, pê ewle bibin ku çîp dikare karên tevlihev û leza bilind bi rê ve bibe.
2. Pasîfasyon:Pêlên parastinê bicîh bikin da ku çîpê ji zirara hawîrdorê biparêzin.
3. Testkirin:Çîp bi ceribandinek hişk ve bikin da ku pê ewle bibin ku ew hemî taybetmendiyan pêk tîne.
4. Kulîlk:Waferê di nav çîpên kesane de bibirrin, her yek ji bo pakkirinê amade ye û di cîhazên elektronîkî de bikar tîne.
Dema şandinê: Tîrmeh-08-2024