Sedemên sereke yên ku bandorê li yekrengiya berxwedêriya radîkal a krîstalên yekane dikin, şûştina navbera hişk-avî û bandora balafira piçûk di dema mezinbûna krîstal de ne.
Bandora şûştina navbera hişk-avî Di dema mezinbûna krîstalê de, heke helandin bi yeksanî were hejandin, rûbera berxwedanê ya wekhev hevbera zexm-avî ye (giraniya nepaqijiyê di helandinê de ji hûrbûna nepaqijiya di krîstalê de cûda ye, lewra berxwedan cûda ye, û berxwedan tenê di navgîniya hişk-avî de wekhev e). Dema ku nepaqijiya K<1, navberê berbi helandinê ve girêdide dê bibe sedem ku berxwedana radîkal li navîn û nizm li keviya be, di heman demê de ku navberê bi helandinê re berevajî ye. Yekrengiya berxwedana radîkal a navbera zexm-avî ya daîre çêtir e. Di dema kişandina krîstal de şiklê navbera zexm-avî ji hêla faktorên wekî belavkirina qada germî û pîvanên xebitandina mezinbûna krîstal ve tê destnîşankirin. Di krîstala yekane ya rasterast-vekêşandî de, şeklê rûbera hişk-avî encama bandora hevgirtî ya faktorên wekî belavkirina germahiya firnê û belavbûna germa krîstal e.
Dema ku krîstalan dikişînin, çar celebên sereke yên danûstendina germê di navgîniya hişk-avî de hene:
Germaya dereng a guherîna qonaxê ku ji hêla hişkbûna siliconê şilkirî ve tê berdan
Germbûna helandinê
Germbûna germê di nav krîstalê de ber bi jor ve
Germaya radyasyonê di nav krîstalê de derdikeve derve
Germaya dereng ji bo tevahiya navberê yekreng e, û dema ku rêjeya mezinbûnê domdar be mezinahiya wê nayê guheztin. (Rêvekirina germê ya bilez, sarbûna bilez, û rêjeya hişkbûnê zêde)
Dema ku serê krîstalê ku mezin dibe nêzikî tîrêja krîstalê ya tovê ku bi avê sar bûye ya sobeya yek krîstal e, pileya germahiyê di krîstalê de mezin e, ku ev yek rêgirtina germa dirêj a krîstalê ji germa tîrêjê ya rûxê mezintir dike, ji ber vê yekê Navbera zexm-avî li ber helandinê vekêşandî ye.
Dema ku krîstal berbi navîn mezin dibe, gihandina germa dirêjî bi germahiya tîrêjê ya rûvî re wekhev e, ji ber vê yekê navber rast e.
Di dûvikê krîstalê de, gihandina germa dirêjî ji germahiya tîrêjê ya rûxê kêmtir e, ku navbera zirav-avî li ber helandinê veqetîne.
Ji bo bidestxistina yek krîstalek bi berxwedana radîkal a yekreng, pêdivî ye ku pêwendiya hişk-avî were ast kirin.
Rêbazên ku têne bikar anîn ev in: ① Pergala germî ya mezinbûna krîstal eyar bikin da ku pileya germahiya radîkal a qada termal kêm bike.
② Parametreyên operasyona kişandina krîstal eyar bikin. Mînakî, ji bo navbeynek ku li ber helandinê veqetandî ye, leza kişandinê zêde bikin da ku rêjeya hişkbûna krîstal zêde bikin. Di vê demê de, ji ber zêdebûna germahiya dereng a krîstalîzasyonê ya ku li ser navberê tê berdan, germahiya helandinê ya li nêzê navberê zêde dibe, di encamê de perçeyek krîstalê di navberê de dihele, û navberê safî dike. Berevajî vê, ger navbera mezinbûnê ber bi helandinê ve girêbide, rêjeya mezinbûnê dikare were kêm kirin, û helbûn dê qebarek têkildar saxlem bike, û navbera mezinbûnê saxlem bike.
③ Leza zivirîna krîstal an keresteyê eyar bikin. Zêdekirina leza zivirîna krîstal dê herikîna şilavê ya germahiya bilind ku ji binî ber bi jor ve di navgîniya zexm-avî de diherike zêde bike, û dihêle ku navbeynkar ji vekêşan berbi guheztinê biguhere. Arasteya herikîna şilekê ya ku ji hêla zivirîna keresteyê ve çêdibe wekî ya veguheztina xwezayî ye, û bandor bi tevahî berevajî ya zivirîna krîstal e.
④ Zêdekirina rêjeya navberê ya hundurê keresteyê bi pîvana krîstalê re dê navbera zexm-ravî bihêle, û di heman demê de dikare tîrêjê veqetandinê û naveroka oksîjenê di krîstalê de jî kêm bike. Bi gelemperî, pîvana kaxez: tîrêjê krîstal = 3 ~ 2.5: 1.
Bandora bandora balafira piçûk
Navbera zexm-ravî ya mezinbûna krîstal bi gelemperî ji ber sînordarbûna îzoterma helandinê ya di kerpîçê de qut dibe. Ger krîstal di dema mezinbûna krîstal de zû were hildan, dê balafirek piçûk a rûkal li navbera zirav-avî ya (111) krîstalên yekalî yên germanium û silicon xuya bibe. Ew (111) balafira atomê ye, ku bi gelemperî balafirek piçûk tê gotin.
Giraniya nepakiyê ya li qada balafira piçûk ji ya li qada balafira nebiçûk pir cûda ye. Ji vê diyardeya belavkirina anormal a nepakîyan li qada balafira piçûk re bandora balafira piçûk tê gotin.
Ji ber bandora balafira piçûk, dê berxwedana qada balafira piçûk kêm bibe, û di rewşên giran de, dê korikên boriyên nepakiyê xuya bibin. Ji bo ji holê rakirina nehomojeniya berxwedana radîkal a ku ji hêla bandora balafira piçûk ve hatî çêkirin, pêdivî ye ku pêwendiya hişk-avî were ast kirin.
Hûn bi xêr hatin xerîdarên ji çar aliyên cîhanê ku ji bo nîqaşek din serdana me bikin!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Dema şandinê: 24-ê Tîrmeh-2024